VEGA 3 GMU/GMH是一款以高品質(zhì),*計(jì)算機(jī)控制,用戶友好界面為基礎(chǔ)的產(chǎn)品.具有使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,分析高效為特點(diǎn)的*設(shè)計(jì),其超大的樣品室和多功能接口將支持分析更多普通掃描電鏡無法分析的樣品。
VEGA 3 GMU/GMH是一款以高品質(zhì),*計(jì)算機(jī)控制,用戶友好界面為基礎(chǔ)的產(chǎn)品.具有使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,分析高效為特點(diǎn)的*設(shè)計(jì),其超大的樣品室和多功能接口將支持分析更多普通掃描電鏡無法分析的樣品。
1.*的四透鏡大視野光學(xué)（Wide Field Optics™）和Tescan*可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)，提供了多種工作模式和顯示模式。
2.成像速度快。
3.鏡筒內(nèi)沒有需要機(jī)械對中結(jié)構(gòu)，取而代之的是容易操作和保養(yǎng)的固定光闌。
4.以電磁的方式改變有效物鏡光闌——中間鏡起到“光闌轉(zhuǎn)換器”的作用。
5.高吞吐量/自動取域。例：自動顆粒定點(diǎn)分析。
6.出眾的電動載臺設(shè)計(jì)，支持能譜儀（EDX），波譜儀（WDX），背散射電子衍射儀（EBSD）。
7.由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和機(jī)械真空泵，因而可以快速簡單得到干凈的真空樣品室。
8.完善的顯微鏡自動設(shè)置包括電子光路設(shè)置和對中。
9.網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程監(jiān)控/診斷是Tescan的標(biāo)準(zhǔn)配備。
10.強(qiáng)大的自動功能:全自動真空控制,燈絲自動加熱,自動電子槍校正 (Auto gun alignment),改變加速電壓，自動補(bǔ)償偏壓,改變電子束大小，
自動調(diào)整電子束大小,依據(jù)訊號/噪聲比自動調(diào)整掃描速度,自動對比/亮度調(diào)整,自動聚焦,自動調(diào)整像差等。
11.*自動的軟件安裝.
12.強(qiáng)大的圖象處理功能,使用專業(yè)的電鏡控制軟件,圖像抓取,加工,處理和分析;
I.影像顯示尺寸
1)實(shí)時圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3種方式。
2)儲存圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096，8192x8192等9種方式。
3)同時可選擇正方形、4x3長方形、2x1長方形等3種尺寸。
4)可同時顯示任意張實(shí)時影像或儲存影像。
II.掃描速度：從20ns/圖素到10ms/圖素，可階級式或連續(xù)式的調(diào)整。
III.聚焦窗口：可連續(xù)式調(diào)整聚焦窗口的大小和位置。
IV.動態(tài)聚焦,點(diǎn)&線掃描
V. 圖像處理(Image processing)：提供銳化(Sharpening)﹐自動對比調(diào)整(Auto Contrast)﹐去噪聲
化(Noise Reduction)等15種圖像處理功能。
VI.量測功能：提供量測任意兩點(diǎn)的距離，量測任意夾角，不規(guī)則形狀的面積和周長，劃指示箭頭，寫說明文字等13種圖像量測的功能
VII.圖像存盤：
1).瀏覽已儲存圖像的相本。
2).找尋已儲存圖像的數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)。
3).報(bào)告產(chǎn)生及從程序中直接打印。
4).實(shí)時或儲存的圖像均可處理。
13.的分析品質(zhì);
1)選擇目標(biāo)區(qū)域：以灰階及彩色為起始點(diǎn)-針對選擇的區(qū)域著色及量測。
2)3D掃描：可通過各探頭的配合，顯示真實(shí)的三維圖象。
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度標(biāo)準(zhǔn)來測量分析樣品。
4)多圖片校正：可以校正其它電鏡拍攝的照片的放大倍數(shù)。
5)打印放大倍數(shù)：調(diào)整顯示屏以及打印輸出時放大倍數(shù)差異。
6)關(guān)機(jī)時間設(shè)定：可以設(shè)定*次自動關(guān)機(jī)時間。
7)公差
可選配軟件
8)形態(tài)學(xué)：該軟件可對樣品圖片進(jìn)行自動分析，測量和分類。其圖片來源可以是顯微鏡，數(shù)碼相機(jī)等。
9)顆粒度分析：可以對多區(qū)域內(nèi)的樣品進(jìn)行自動測量，分析和分類（不過分析樣品必須在掃描窗口內(nèi)）。該軟件結(jié)合形態(tài)學(xué)軟件使用，功能更加完善。
10)自動連續(xù)截圖
11)樣品觀測
12)鼠標(biāo)連接：安裝該軟件后，可以用SEM的鼠標(biāo)控制其他連接的設(shè)備的鼠標(biāo)進(jìn)行操作。
技術(shù)參數(shù)：
1.分辨率:高真空(二次電子)3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv
(背散射電子): 3.5 nm at 30 kV
低真空(低真空二次電子)﹕3.5 nm at 30 kV
2.放大倍數(shù):1 to 1000000×
3.真空系統(tǒng): 低真空3~2000Pa
4.加速電壓0.2KV to 30KV
5.電子束電流1pA—2uA
6.樣品室內(nèi)部尺寸:340mm(寬) x 315mm(深)
7.樣品臺行程:(5軸馬達(dá)控制）
X=130mm
Y=130mm Z=100mm
T=-80°到+90°
R=360°連續(xù)可調(diào)
zui大樣品高度145mm.
*U型為高低可變真空，H型為高真空電鏡
主要特點(diǎn)：
國內(nèi)使用中文操作界面的電鏡廠商
1.電磁式電子槍自動對中;
2.可以提供五種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;視野模式;大視野模式,channeling模式，可以非常方便尋找樣品位置;
3.紅外線樣品室內(nèi)攝像裝置,可以在測量同時觀測樣品;
4.真空系統(tǒng)采用一臺機(jī)械泵和一臺分子泵,抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內(nèi)就可達(dá)到待測狀態(tài);并且不需要使用冷卻水冷卻.
5.采用內(nèi)置主動式電磁減震系統(tǒng)，大大減少了對安裝環(huán)境的要求.
6.*的軟件系統(tǒng),在數(shù)據(jù)儲存數(shù)據(jù)記錄數(shù)據(jù)打印等方面具有多種創(chuàng)新功能.
7.20個以上外擴(kuò)展接口，以及特殊的多功能接口，可安裝多款輔助附件
8.可對SEM進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
9.體積和重量大，不方便切割的樣品觀察和研究。
