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真空等離子清洗機(jī)

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設(shè)備主要規(guī)格電源系統(tǒng)雙微波電源自主研發(fā)與華南理工大學(xué)合作功率0~2000W頻率2.45GHz真空系統(tǒng)真空泵KashiyamaNeoDry60E真空管路304不銹鋼

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設(shè)備主要規(guī)格

電源系統(tǒng)

雙微波電源

自主研發(fā)與華南理工大學(xué)合作

功率

0~2000W

頻率

2.45GHz

真空系統(tǒng)

 

真空泵

Kashiyama NeoDry60E

真空管路

304不銹鋼,高強(qiáng)度真空管路

材質(zhì)

鋁合金

腔體絕緣材質(zhì)

陶瓷

密封性

耐腐蝕硅膠密封圈

腔體內(nèi)部尺寸

24

清洗產(chǎn)品范圍

180~250mm×30~80mm(長(zhǎng)×寬)平面變形量<2

料盒尺寸范圍

200~270mm×37~97mm×150mm(長(zhǎng)×寬×高)

軌道寬度調(diào)整方式

手動(dòng)滾輪調(diào)節(jié)

流道數(shù)量

4條,流片方向左進(jìn)右出方式

電極板工作面積

340×500mm

氣體系統(tǒng)

流量范圍

0~300SCCM

工藝氣體氣路

標(biāo)配氧氣、氬氣兩路工藝氣體(可定制)

控制系統(tǒng)

系統(tǒng)控制

工控機(jī)

防呆

夾料監(jiān)控

可監(jiān)控30~80mm引線框架

料盒防呆

可監(jiān)控料盒是否已經(jīng)放置到位

UPH

UPH

120PC Lead frame

Plasma效果

清洗要求

有效去除物料正反面表面的氧化層

溫度要求

連續(xù)工作溫度不超過(guò)200

其他參數(shù)

外形尺寸

1300×長(zhǎng)2000×高2064mm(含指示燈高)

重量

1000KG

功率

15KW

設(shè)備外觀顏色

銀灰色



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