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日立中型掃描電鏡SU3800 / SU3900

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公司名稱 深圳市汐品科技有限公司
品牌
型號
所在地 深圳市
廠商性質(zhì) 其他
更新時間 2024/7/16 14:36:36
訪問次數(shù) 105

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

1) 支持超大/超重樣品測試　　可搭載的樣品尺寸：“SU3800” 標(biāo)配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對高度為80mm、重量為2kg的樣品。 “SU3900”作為日立的大型掃描電鏡，標(biāo)配可搭載直徑300mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對高度為130mm、重量為5kg(比前代機(jī)型提高2.5倍*2)的樣品　　(2) 支持大視野觀察　　■“SU3800”與“SU3900”的觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm

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概述

產(chǎn)品參數(shù)

1) 支持超大/超重樣品測試

　　可搭載的樣品尺寸：“SU3800” 標(biāo)配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對高度為80mm、重量為2kg的樣品。 “SU3900”作為日立的大型掃描電鏡，標(biāo)配可搭載直徑300mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對高度為130mm、重量為5kg(比前代機(jī)型提高2.5倍^*2)的樣品

(2) 支持大視野觀察

　　■“SU3800”與“SU3900”的觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm

　　■安裝有“SEM MAP”導(dǎo)航功能，只需在導(dǎo)航畫面上觀察目標(biāo)位置，即可移動視野

　　■安裝有“Multi Zigzag”系統(tǒng)，可在不同的視野自動拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像

(3) 通過自動化功能提高操作性能

　　■通過自動光路調(diào)整和各種自動化功能，樣品設(shè)置完后立即可以開始觀察。關(guān)于圖像調(diào)整，自動功能執(zhí)行時的等待時間比前代機(jī)型^*4縮短了三分之一以下

　　■安裝有“Intelligent Filament Technology(IFT)”軟件，自動監(jiān)控鎢燈絲^*5的狀況，顯示預(yù)計(jì)的更換時期。在長時間的連續(xù)觀察和顆粒度解析等大視野分析時，也可避免長時間測試過程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察。

產(chǎn)品參數(shù)

ITEM		SU3800	SU3900
二級電子分解能		3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式）
二級電子分解能		15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式）
背散射電子分解能		4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式）
倍率		×5～×300,000（照片倍率*1）
倍率		×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2）
加速電壓		0.3kV～30kV
低真空度設(shè)定		6～650 Pa
圖像位移		±50µm（WD＝10mm）
樣品尺寸		200mm直徑	300mm直徑
樣品臺	X	0～100mm	0～150mm
	Y	0～50mm	0～150mm
	Z	5～65mm	5～85mm
	R	360°連續(xù)
	T	－20°～+90°
	可觀察范圍	130mm直徑（R并用）	200mm直徑（R并用）
	可觀察高度	80mm（WD=10mm）	130mm（WD=10mm）
	電機(jī)驅(qū)動	5軸電機(jī)驅(qū)動
電子光學(xué)系統(tǒng)	電子槍	中心操控式鎢絲發(fā)射
	物像鏡頭光圈	4孔可動光圈
	檢測系統(tǒng)	二級電子檢測器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測器
	EDX分析WD	WD＝10mm（T.O.A＝35°）
圖像顯示	自動光軸調(diào)整功能	自動光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
		自動光軸調(diào)整（實(shí)時級別對齊）
		自動調(diào)整光束亮度
	自動圖像調(diào)整功能	自動亮度和對比度控制（ABCC）
		自動對焦控制（AFC）
		自動標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF）
		自動燈絲飽和度調(diào)整（AFS）
		自動光束對準(zhǔn)（ABA）
		自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC）
操作輔助功能		光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對點(diǎn)測量、角度測量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）、光束標(biāo)記功能
配件		■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成
配件（外部裝置）		能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、各種外部功能臺（加熱臺、冷卻臺、牽引臺）