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國儀量子 SEM5000場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。的鏡筒設(shè)計,高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設(shè)計,實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動功能、精心設(shè)計的人機交互,優(yōu)化的操作和使用流程,無論經(jīng)驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務(wù)。 ...

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SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。

的鏡筒設(shè)計,高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設(shè)計,實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動功能、精心設(shè)計的人機交互,優(yōu)化的操作和使用流程,無論經(jīng)驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務(wù)。

電子槍類型 分辨率 放大倍率 加速電壓 樣品臺
肖特基
場發(fā)射電子槍
0.9 nm @ 15 kV,SE
1.3 nm @ 1 kV,SE
0.8nm @ 30 kV,STEM
1 ~ 2,500,000 x 20 V ~ 30 kV 五軸全自動樣品臺

產(chǎn)品特點

01 分辨率高,低加速電壓下實現(xiàn)高分辨成像

02 電磁復(fù)合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品

03 高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應(yīng),低電壓分辨率得到保證

04 電子光路無交叉,有效的降低系統(tǒng)像差,提升分辨能力

05 水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性

06 磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌,自動切換光闌孔,無需機械調(diào)節(jié),實現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

應(yīng)用領(lǐng)域

應(yīng)用案例

產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù) 分辨率

0.9 nm @ 15 kV,SE
1.3 nm @ 1.0 kV,SE

0.8 nm @ 30 kV,STEM

加速電壓 20 V ~ 30 kV
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
電子槍類型 肖特基場發(fā)射電子槍
樣品室 真空系統(tǒng) 全自動控制
攝像頭 雙攝像頭
(光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控)

樣品臺行程

X: 125 mm,Y: 125 mm,Z: 50 mm
T: -10°~ +90°, R: 360°

(* 可選配超大倉體版本)

探測器和擴展 標配 鏡筒內(nèi)高角度電子探測器
側(cè)向低角度電子探測器
選配

插入式背散射電子探測器
STEM自動插入式掃描透射探測器
樣品交換倉
高速束閘和電子束曝光
EDS能譜儀
EBSD背散射衍射
EBIC電子束感生電流
CL陰極熒光
高低溫原位拉伸臺
納米機械手
大圖拼接

軌跡球 & 旋鈕控制板

軟件 語言 中文
操作系統(tǒng) Windows
導(dǎo)航 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航
自動功能 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散



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