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高精度二維直線電機平臺EPSZ系列

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OMTOOLS高精度二維直線電機平臺EPSZ系列應(yīng)用電磁直接驅(qū)動器的線性電機。此類電機省去了動力傳動系統(tǒng)中的機械部件,并將驅(qū)動力無摩擦地直接傳遞到運動平臺。驅(qū)動器可實現(xiàn)高速度和高加速度。無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務(wù),因為其不會與性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在超低的速度下也能保持平穩(wěn)的運行,同時,在高速狀態(tài)下也不會產(chǎn)生振動。

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項目描述

        OMTOOLS高精度二維直線電機平臺EPSZ系列應(yīng)用電磁直接驅(qū)動器的線性電機。此類電機省去了動力傳動系統(tǒng)中的機械部件,并將驅(qū)動力無摩擦地直接傳遞到運動平臺。驅(qū)動器可實現(xiàn)高速度和高加速度。無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務(wù),因為其不會與性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在超低的速度下也能保持平穩(wěn)的運行,同時,在高速狀態(tài)下也不會產(chǎn)生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。非接觸式、超高精度的光學(xué)編碼器直接測量平臺的位置。使用交叉滾柱導(dǎo)軌,滾珠導(dǎo)軌中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此,它們的剛度明顯提高,需要的預(yù)載更小,這減少了摩擦并實現(xiàn)了更平滑的運行。交叉滾柱導(dǎo)軌還具有高導(dǎo)向精度和高負載能力的特征。直線電機位移臺應(yīng)用于各種高精度場合。

 

材質(zhì):7075T6鋁合金

技術(shù)規(guī)格

型號

EPSZ50

EPSZ100

EPSZ150

EPSZ200

行程(mm)

50x50

100x100

150x150

200x200

臺面(mm)

250x250

280x280

320x320

420x420

導(dǎo)軌類型

精密交叉滾柱導(dǎo)軌

電機規(guī)格

無鐵芯直線電機

電機額定/峰值推力(N)

17.6/88

35.2/176

力常數(shù) ±10% (N/Arms)

11

22

電機常數(shù)@25°(N/Sqrt)W

3.6

5

持續(xù)電流 (Arms)

1.6

1.6

峰值電流 (Arms)

8

8

負載能力(kg)

10

20

光柵分辨率nm

50nm

臺面速度mm/s

≥200mm/s

上軸空載加速度(g)

4

3.5

3

2.5

下軸空載加速度(g)

3.2

2.5

2.2

1.8

雙向重復(fù)定位精度(nm)

≤500

≤600

單向重復(fù)定位精度(nm)

≤300

≤400

直線度(um)

≤±5

≤±5

≤±5

≤±5

平行度(um)

≤±5

≤±5

≤±10

≤±10

正交性(arc sec)

30

材質(zhì)

鋁,黑色陽極氧化

重量(kg)

8

10

18

26

連接器

兩個航空插頭/GX12-4/4PIN、兩個航空插頭/GX12-6/5PIN、兩個DB15/兩排

注:速度為空載時理論計算和實際測試值。

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