納米級(jí)光學(xué)干涉測厚儀

應(yīng)用： PET、PE、PMMA等薄膜·離型膜·沉積膜·金屬表面漆膜涂層·膜涂層·塑料涂層

產(chǎn)品簡介：

PSD-2000型在線納米級(jí)光學(xué)膜厚儀利用光譜相干測量學(xué)，用于測量半導(dǎo)體制造過程中的薄膜厚度，以及安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備上的APC和薄膜的質(zhì)量控制，能夠測量單層/多層/涂布層在不透光基板上的厚度，精準(zhǔn)度可達(dá)納米級(jí)。   

PSD-2000型在線納米級(jí)光學(xué)膜厚儀，其核心部件主要源自于美國Ocean Optics有限公司，其微型光譜儀體積小巧，可對(duì)全譜進(jìn)行快速采集，產(chǎn)品應(yīng)用廣泛，可用于生化、光電、航空航天、環(huán)境保護(hù)、安全檢測、農(nóng)業(yè)等行業(yè)，可進(jìn)行 Low-E玻璃鍍膜檢測，ITO玻璃鍍膜檢測，PET涂布在線膜厚檢測，金屬表面涂層檢測，半導(dǎo)體，LCD膜厚檢測等。 

工作原理：分光干涉法

當(dāng)光入射到樣品內(nèi)部，會(huì)發(fā)生多重反射現(xiàn)象，多重反射光會(huì)由于相互之間的相位差增強(qiáng)或減弱，而相位差取決于樣品的折射率和光程，因此來自于樣本的反射光譜與其厚度有直接關(guān)系。光譜干涉法就是利用這種的光譜分析出樣品的厚度，該厚度測量儀器根據(jù)測試范圍的不同主要使用曲線擬合和FFT兩種方法對(duì)光譜進(jìn)行分析。

應(yīng)用范圍： 

?PET薄膜厚度測量

?涂層厚度測量，如HC，保護(hù)膜，光刻膠，OCA，離型膜等涂布厚度或克重的測量

?用于包裝的PET表面介質(zhì)膜克重或膜厚測量

?金屬表面透明和半透明漆膜涂層

產(chǎn)品優(yōu)勢：

在線掃描式或多點(diǎn)測量（多達(dá)15點(diǎn)）同時(shí)測量

通過光強(qiáng)波動(dòng)校正功能實(shí)現(xiàn)長時(shí)間穩(wěn)定測量

提醒及警報(bào)功能(通過或失敗)

反射(透射)和光譜測量

同步測量多層厚度

高速、高準(zhǔn)確度

參數(shù)：

PSD-200實(shí)驗(yàn)室型納米級(jí)光學(xué)干涉測厚儀

用途：

·太陽能減反膜玻璃，TCO玻璃，Low-E玻璃，ITO玻璃，光學(xué)玻璃鍍膜等測量。

·PET膜透明膠膜厚測量

·膜厚，顏色，粗糙度，透過率，反射率，霧度

·可用于實(shí)驗(yàn)室離線測量

技術(shù)水平：

·精度0.1%，達(dá)到國際同類產(chǎn)品水平

·檢測透明和半透明涂層

·反射式太陽能玻璃的膜厚/折射率測量儀，具有測量速度快，測量準(zhǔn)確，操作簡便的特點(diǎn)。

技術(shù)參數(shù)：