♦ 機(jī)械直線(xiàn)度，平面度檢測(cè)；
♦ 光學(xué)元件角度、側(cè)垂，平行度的測(cè)量；
♦ 裝配定位及監(jiān)測(cè)：
晶元封裝定位；
透鏡偏移和傾斜監(jiān)測(cè)；
多個(gè)光學(xué)平面裝配平行度測(cè)量
♦ 振動(dòng)或旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定性監(jiān)測(cè)
電子馬達(dá)移動(dòng)或旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定性的檢測(cè)

主要技術(shù)指標(biāo)：		設(shè)備主件：
激光波長(zhǎng)	紅光(或藍(lán)綠光)	•激光自準(zhǔn)直儀 •測(cè)量軟件（可測(cè)量多個(gè)成像點(diǎn)） •二維調(diào)節(jié)臺(tái) •測(cè)量臺(tái)座和立桿 •LD光源驅(qū)動(dòng)器
測(cè)量范圍	±1°
分辨率	0.1"
測(cè)量精度	≤5"
可選光闌孔徑	Φ1,2,3,4,6mm
可測(cè)距離	0~300mm