EIS01成像光譜橢偏儀是一種對(duì)樣品表面和界面進(jìn)行高靈敏分析的儀器

EIS01成像光譜橢偏儀是一種對(duì)樣品表面和界面進(jìn)行高靈敏分析的儀器。該儀器是在傳統(tǒng)橢偏測(cè)量技術(shù)基礎(chǔ)上，集成了高空間分辨的顯微成像技術(shù)以及高精度的光譜掃描技術(shù)，所以，該儀器具有達(dá)到次納米級(jí)的縱向靈敏度、達(dá)到微米級(jí)的橫向分辨率、以及可進(jìn)行快速橢偏成像的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。 EIS01成像光譜橢偏儀適用于對(duì)納米薄膜樣品進(jìn)行高精度的膜厚和折射率檢測(cè)，尤其適用于對(duì)超薄膜、表面、表界面和相關(guān)材料的微觀尺度結(jié)構(gòu)、薄膜厚度、折射率和吸收系數(shù)等參數(shù)進(jìn)行高空間分辨成像的測(cè)量。 EIS01成像光譜橢偏儀可應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路芯片、生物分子芯片、二維材料等領(lǐng)域，服務(wù)于生物醫(yī)藥開(kāi)發(fā)、醫(yī)療診斷等產(chǎn)業(yè)。