| 具體型號 | VMS250 / VMS300 / VMS400 / VMS500 |
| (X/Y/Z軸) 量測行程(mm) | 250*150*200 300*200*200 400*300*200 500*400*200 |
| 全機尺寸(mm) | 800*500*1650 980*650*1650 1160*800*1650 1260*900*1650 |
| 機臺底座和立柱材料 | 高精度天然花崗石 |
| CCD | 41萬像素3DFAMILY彩色 |
| X,Y軸量測精度 | （3+L/200）μm |
| 放大倍率 | Step Zoom光學放大率：0.7X-4.5X，影像放大率：28X-180X |
| 光學尺解析度 | 1 μm |
| 重復性 | 2 μm |
| 操作方式 | 手動 |
| 電源供給 | 110/220V |
| 合適溫度，濕度 | 溫度：19°--24°，濕度：45%--75% |
| 保修期 | 1年 |
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