性能特點(diǎn)

1）MX4R系列為型FPD檢查顯微鏡，專為L(zhǎng)CD行業(yè) / TFT玻璃 / COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查

2）MX4R系列機(jī)型采用4寸、6寸平臺(tái)設(shè)計(jì)，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查

3）MX4R系列，其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美

4）MX4R系列機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長(zhǎng)壽命LED光源

5）多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗(yàn)需要，可用于明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察

★ 可選配6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，平臺(tái)面積445×240mm，行程158×158mm；帶快速移動(dòng)裝置；玻璃載物臺(tái)板，透反兩用平臺(tái)；

★ 可選配8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，平臺(tái)面積450×310mm，行程200×170mm；帶快速移動(dòng)裝置；玻璃載物臺(tái)板，透反兩用平臺(tái)；

★ 可選配標(biāo)準(zhǔn)微分干涉（DIC）裝置、OLYMPUS微分干涉（DIC）裝置