TESCAN VEGA
TESCAN VEGA 第四代鎢燈絲掃描電子顯微鏡，采用全新的 Essence™ 電鏡操控軟件系統(tǒng)，將掃描形貌圖像與元素實(shí)時分析集成于同一個掃描窗口中。這種組合大大簡化了樣品表面形貌的采集及所含元素的數(shù)據(jù)分析工作，使得全新的第四代 VEGA SEM 成為質(zhì)量控制、故障分析和研究實(shí)驗(yàn)室中常規(guī)材料等檢測提供更高效的分析的解決方案。
突出特點(diǎn)
· 集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平臺，在 Essence™ 電鏡操控軟件的單一窗口中即可實(shí)現(xiàn) SEM 成像和元素成分分析。
· TESCAN 采用的無機(jī)械光闌設(shè)計，采用實(shí)時電子束追蹤（In Flight Beam Tracing™）的技術(shù)，可幫助用戶快速獲得電鏡的成像及分析條件。
· 的大視野光路（Wide Field Optics™）設(shè)計，至2倍的放大倍數(shù)，無需額外的光學(xué)導(dǎo)航攝像頭即可輕松、地實(shí)現(xiàn) SEM 導(dǎo)航。
· SingleVac™ 模式作為標(biāo)準(zhǔn)配置，為觀測不導(dǎo)電樣品和電子束敏感的樣品提供便利的分析利器。
· 采用 3D 電子束技術(shù)（3D Beam Technology ）可獲得實(shí)時立體成像。
· 在樣品臺及裝置的樣品運(yùn)動過程中，Essence™ 3D防碰撞模塊可以直觀的顯示安裝腔室內(nèi)的探測器及樣品臺的位置信息，提供的安全性的保護(hù)。
· 真空緩沖節(jié)能單元可顯著縮短機(jī)械泵的運(yùn)行時間，提供環(huán)保、高經(jīng)濟(jì)效益的電子顯微鏡。
· 模塊化分析平臺，可選配集成多種類的探測器和附件（如陰極熒光探測器，水冷背散射電子探測器或拉曼光譜儀等）。
