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射頻去膠機(jī)PT-60-HF

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PT-60-HF是一款中型等離子去膠機(jī),配置豐富且真空腔體里面可分層,適合8寸晶圓及以下大多數(shù)生產(chǎn)場(chǎng)景設(shè)備優(yōu)點(diǎn)? 任何材質(zhì)、形狀、尺寸都可以處理? 高效均勻的處理效果? 自主研發(fā)的操作系統(tǒng),簡(jiǎn)潔智能? 處理氣體多為氧氣、氬氣、氮?dú)?、四氟化碳、氫氣或混合氣體? 較低的處理溫度,不存在熱損傷和熱氧化問題? 使用成本低、耗損小? 安裝與維護(hù)簡(jiǎn)便快捷

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

功能介紹:表面清洗和活化

  等離子體其中包括原子、分子、離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)原子、活化的分子及自由基,這些粒子的能量和活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),從而有些化學(xué)鍵被打開后結(jié)合上氧原子等高活性的物質(zhì),使得材料表面親水性得到極大提高,同時(shí)對(duì)材料表面的油污等有機(jī)大分子新的化學(xué)反應(yīng),生成氣態(tài)小分子,例如二氧化碳,水氣等氣態(tài)物質(zhì)被真空泵抽走,從而達(dá)到對(duì)材料表面分子級(jí)別的清洗。

  在粘接/bonding/印刷/噴漆/鍍膜/封裝等工序時(shí)讓產(chǎn)品可靠性更高,良品率更好。

設(shè)備基本參數(shù)(聯(lián)系我們了解更多詳細(xì)資料)

型號(hào)

PT-60-HF

整機(jī)尺寸(mm)

785(W)×800(D)×1800(H)

重量(Kg)

280

真空腔體

W400mm;D400mm;H400mm

托盤

W360mm;D360mm

射頻電源

輸出頻率

13.56MHz

功率

500W / 1KW

負(fù)載阻抗

50Ω

真空測(cè)量

量程

1×10-2~1×105

工藝氣路

2路工藝氣體管道

MFC質(zhì)量流量計(jì)

控制系統(tǒng)

西門子PLC+MCGS觸摸屏

軟件功能

手動(dòng)模式和自動(dòng)模式

真空泵

可選油泵或干泵

外部電源

380V;50/60Hz

其他說明

設(shè)備配置可根據(jù)要求定制

應(yīng)用場(chǎng)景

• PCB清潔

• 電子元器件

• 封裝預(yù)處理

• 牙科

• PET-薄膜

• 半導(dǎo)體微電子

• 航空航天

• 高分子材料

• 汽車大燈/汽車零部件

• 光學(xué)玻璃表面清潔/活化

• /耳機(jī)/揚(yáng)聲器

• 體內(nèi)植入物

• 傳感器MEMS

• ITO玻璃

• 生物醫(yī)療

• 聚合物涂覆

• 去除有機(jī)物

• LED封裝

• 晶圓去膠

• 硅片鍵合

• PDMS鍵合


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