產(chǎn)品介紹：

優(yōu)異的高效分析性能

微型采樣方法(已在日本和美國(guó)取得)已在半導(dǎo)體器件分析領(lǐng)域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時(shí)左右即可獲得一個(gè)微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達(dá)到0.1 μm以下。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

聚焦離子束(FIB)微采樣裝置和聚焦離子束(FIB)微采樣方法

聚焦離子束(FIB)微柱狀制樣實(shí)例

一個(gè)微柱狀樣品，包含一個(gè)直接從半導(dǎo)體器件上準(zhǔn)確地切割下來(lái)的分析點(diǎn)。改變?nèi)肷渚劢闺x子束(FIB)的方向，把微樣品切割或加工成任意形狀。