工件直徑

400 mm (15.7in) [extendable to 485 mm (19.1in)]

工件高度

300 mm

500 mm

900 mm

測量深度

160 mm

160 mm

160 mm

測量直徑

350 mm (13.8 in) [extendable to 435 mm (17.1 in)]

工件重量

Auto Center and Level: 75kg (165 lb)

工作臺力矩載荷

Auto C&L: 1250 kg/mm

立柱軸

立柱構(gòu)造

精加工的鑄鐵基準(zhǔn)

立柱高度

300 mm (11.8 in)

500 mm

900 mm

立柱全高的直線度誤差

0.3 μm / 300 mm

0.3 μm / 500 mm

1.0 μm

垂直軸對主軸的平行度

0.5 μm / 300 mm

1 μm / 500 mm

2 μm / 900 mm

任意 100mm (3.94 in) 直線度誤差

0.15 μm / 100 mm

0.15 μm / 100 mm

0.3 μm / 100 mm

移動(dòng)速度

移動(dòng)0.25 - 20 mm/s

測量0.25 - 20 mm/s

接觸0.5 - 5 mm/s

位置控制

+/- 5μm (200μin)

+/- 5 μm

+/- 10 μm

長度測量

(0.03 μm/mm + 1.5 μm)

位置分辨率

0.25 μm

數(shù)據(jù)點(diǎn)數(shù)（可選擇）

多達(dá)200,000 點(diǎn)

立柱噪音

<30 nm="">

主軸

主軸構(gòu)造

精密空氣軸承

旋轉(zhuǎn)速度

0.6, 1, 2, 6, 10 rpm, 雙向

徑向誤差（工作臺面以上高度）

+/- (0.015 μm + 0.0003 μm/mm)

軸向誤差（距中心的半徑）

+/- (0.02μm + 0.0003 μm/mm)

位置控制

+/- 0.2 o

位置分辨率

0.02 o

轉(zhuǎn)動(dòng)角度

0.1 o

數(shù)據(jù)點(diǎn)數(shù)（可選擇）

最多18,000 點(diǎn)