旋轉(zhuǎn)工作臺

旋轉(zhuǎn)精度

徑向

(0.02+6H/10000)μm H: 為測量高度 (mm)

(JIS B 7451-1997)

軸向

(0.02+6X/10000)μm X: 到旋轉(zhuǎn)工作臺軸的距離 (mm)

旋轉(zhuǎn)速度

4, 6, 10rpm

工作臺有效直徑

Φ150mm

調(diào)心 /調(diào)水平范圍

D.A.T.

調(diào)心范圍

±3mm

調(diào)水平范圍

±1o

臺面承重

25kg

測量直徑

Φ280mm

工件直徑

Φ560mm

垂直軸移動

驅(qū)動直線度 (λc2.5)

窄范圍: 0.20μm/100mm, 寬范圍: 0.30/300mm

與轉(zhuǎn)臺軸平行度 (母線要素基準(zhǔn))

1.5μm/300mm

定位速度

小于5mm/s (測量時(shí): 0.5, 1.0, 2.0, 5.0 mm/s)

垂直行程

300mm

檢測高度

300mm*1

檢測深度 (使用標(biāo)準(zhǔn)測桿時(shí))

Φ32×91mm (深度),Φ7×50mm (深度)

X軸

直線度 (λc2.5)

2.7μm/140mm

與轉(zhuǎn)臺軸垂直度 (母線要素基準(zhǔn))

1.6 μm/140mm

移動范圍

165mm (–25mm - +140mm 轉(zhuǎn)臺中心)

移動速度

小于8mm/s (測量時(shí): 0.5, 1.0, 2.0, 5.0 mm/s)

檢出器

測力

10 - 50mN, 1 - 5級

標(biāo)準(zhǔn)測桿, 材質(zhì)

Φ1.6mm硬質(zhì)合金

范圍

標(biāo)準(zhǔn)

±400μm/±40μm/±4μm

追蹤

±5mm

其他

內(nèi)/外徑測量簡單觸切換，Z軸碰撞檢測功能， 測頭角度刻度標(biāo)記 (±45o)

其他

電源

100-240VAC

功耗

80W (除PC和打印機(jī))

氣壓

0.39MPa

空氣消耗量

22L/min 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) (80L/min 以上氣源)

主機(jī)重量

170kg