旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)

旋轉(zhuǎn)精度(JIS B 7451-1997)

徑向

(0.02+3.5H/10000)μm H: 為測(cè)量高度 (mm)

軸向

(0.02+3.5X/10000)μm X: 到旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)軸的距離 (mm)

旋轉(zhuǎn)速度

2, 4, 6, 10rpm (自動(dòng)定心: 20rpm)

工作臺(tái)有效直徑

Φ300mm

調(diào)心范圍

±5mm

調(diào)水平范圍

±1°

臺(tái)面承重

小于80kg (自動(dòng)定心: 65kg)

測(cè)量直徑

小于Φ400mm

工件直徑

小于Φ680mm

垂直移動(dòng)

移動(dòng)直線度(λc2.5)

窄范圍

0.05μm/100mm

寬范圍

0.14μm/350mm

0.2μm/550mm

與轉(zhuǎn)臺(tái)軸平行度(母線要素基準(zhǔn))

0.2μm/350mm

0.32μm/550mm

水平移動(dòng)(從工作臺(tái)上部)

350mm

550mm

定位速度

小于60mm/s (測(cè)量時(shí): 0.5, 1, 2, 5mm/s)

檢測(cè)高度

350mm

550mm

檢測(cè)深度 (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭)

Φ32×85mm (深度)

Φ7×50mm (深度)

X軸

直線度 (λc2.5)

0.4μm/200mm

與轉(zhuǎn)臺(tái)軸垂直度 (母線要素基準(zhǔn))

0.5μm/200mm

移動(dòng)范圍

225mm (–25mm ~ +200mm 從旋轉(zhuǎn)中心)

定位速度

小于50mm/s (測(cè)量時(shí): 0.5, 1, 2, 5mm/s)

檢出器

測(cè)力

約 10 - 50mN, 1 - 5 級(jí)

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)桿, 材質(zhì)

Φ1.6mm 硬質(zhì)合金

范圍

標(biāo)準(zhǔn)

±400μm/±40μm/±4μm

追蹤

±5mm

其他

帶IN/OUT切換功能、測(cè)力切換功能(5級(jí)切換)、測(cè)桿角度指示

(±45o),Z軸方向沖擊探測(cè)功能、帶滑動(dòng)式檢出器(3姿勢(shì)規(guī)格)

其他

氣壓

0.39MPa

空氣消耗量 (標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài))

45L/min (120L/min 以上氣源)

重量

測(cè)量主體

650kg

670kg

防震臺(tái)架

170kg