PICOSUN™P-1000 PICOSUN™ P-1000原子層沉積系統(tǒng)專門(mén)對(duì)于3D結(jié)構(gòu)物體進(jìn)行批量涂層加工。例如： 機(jī)械零件、玻璃或金屬片、硬幣、珠寶以及醫(yī)療植入物等。

PICOSUN™ P-1000系統(tǒng)專門(mén)對(duì)于3D結(jié)構(gòu)物體 進(jìn)行批量涂層加工，例如： 機(jī)械零件、玻璃或金屬片、硬幣、珠寶以及醫(yī)療植入器械。主要的應(yīng)用包括制備各種各樣的鈍化層和阻擋 層， 顯著提高器件的性能和壽命。巧妙、創(chuàng)新 的設(shè)計(jì)使得PICOSUN™ P-1000 ALD系統(tǒng)在具  有制備高均一性的高質(zhì)量ALD薄膜的同時(shí)能 夠有很高的產(chǎn)量， 并且是市場(chǎng)上保養(yǎng)、維護(hù)時(shí) 間，購(gòu)置成本最小的ALD系統(tǒng)。這些都已 經(jīng)在實(shí)際生產(chǎn)中得到證實(shí)。

可靠、快速且易于維護(hù)的PICOSUN™ P-1000 ALD系統(tǒng)代表了的工業(yè)化ALD工藝水平！

襯底尺寸和類型

?    大小不等的3D結(jié)構(gòu)物件（例如： 機(jī)械零件、 玻 璃或金屬片、 硬幣、 珠寶以及醫(yī)療植入物等）

工藝溫度

?    50 – 400°C

標(biāo)準(zhǔn)工藝

?    Al2O3, ZnO, TiO2

基片裝載

?    通過(guò)裝載工具進(jìn)行手動(dòng)裝載（例如： 叉車(chē)）

前驅(qū)體

?    液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源

?    源瓶余量傳感器，提供清洗和裝源服務(wù)

?     6根獨(dú)立源管線， 最多加載10個(gè)前驅(qū)體源