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產(chǎn)品介紹NavigatorSEM-100-SEMI高通量（場發(fā)射）掃描電子顯微鏡聚束科技獨立研發(fā)并擁有自主知識產(chǎn)權的NavigatorSEM-100高通量（場發(fā)射）掃描電子顯微鏡，通過對成像技術、運動平臺、電路控制及智能算法的系統(tǒng)化創(chuàng)新設計，實現(xiàn)了高通量成像，成像速度可達到傳統(tǒng)電鏡的數(shù)十倍以上
聚束科技獨立研發(fā)并擁有自主知識產(chǎn)權的NavigatorSEM-100高通量（場發(fā)射）掃描電子顯微鏡，通過對成像技術、運動平臺、電路控制及智能算法的系統(tǒng)化創(chuàng)新設計，實現(xiàn)了高通量成像，成像速度可達到傳統(tǒng)電鏡的數(shù)十倍以上。其全部采用直接電子探測器的技術方案，成功克服了傳統(tǒng)SEM技術在速度、精度和樣品損傷等方面的局限性，性地將掃描電鏡從傳統(tǒng)意義上的納米“照相機”提升為納米“攝像機”。同時操作簡單，全自動一鍵換樣，7*24小時無人值守運行，全面提升科研效率。 我們將成熟的工業(yè)化高通量電鏡檢測技術應用在生命科學、材料研究、半導體工業(yè)、地質資源等領域。尤其在神經(jīng)生物學3D重構、材料大面積表面分析、半導體反向工程、納米技術分析等應用領域有顯著優(yōu)勢。
* NavigatorSEM-100詳細信息
肖特基場發(fā)射電子槍
高亮度的肖特基場發(fā)射電子源，確保高倍率下，依舊能高分辨成像
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通過創(chuàng)新的硬件和軟件設計，實現(xiàn)二次電子與背散射電子雙通道同步成像：視頻級高分辨成像2×100M像素/秒，6秒鐘即可拍攝一張6億像素高清圖像（區(qū)域：50μm×50μm分辨率:24K×24K ）。相較傳統(tǒng)意義掃描電鏡，其掃描速度高出一個數(shù)量級以上。
高清視頻級攝像幀率（2×200幀/秒@512×512，或2×60幀/秒@1024×1024），使其具有實時觀測樣品動態(tài)變化的能力。
| 參數(shù)類型 | 參數(shù)值 |
| 分辨率 | 1.5nm@1kV 1.2nm@3kV 1.0nm@5kV |
| 加速電壓 | 0.1 kV - 12 kV |
| 放大倍數(shù) | 500X - 600,000X(SEM) 1X - 500X(光學) |
| 束斑電流 | 50pA-300nA |
| 圖像大小 | 512X512像素-24kX24k像素 |
| 圖像采集速度 | 雙通道同時采集2×100M 像素/秒 駐留時間(Dwell Time)10納秒/像素 |
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