產(chǎn)品型號：WinSPM L? 傳統(tǒng)的原子力顯微鏡? 采用激光檢測型探針? 多功能模式、研究級? 經(jīng)典傳承、品質(zhì)

產(chǎn)品簡介：

采用傳統(tǒng)激光檢測探針的原子力顯微鏡（AFM），經(jīng)典傳承、品質(zhì)。集成了多模式和多功能的、國際和研究級的掃描探針顯微鏡產(chǎn)品。

儀器特點

• 采用激光探測探針，支持接觸模式和輕敲模式的形貌成像。

• 具備力-距離曲線、振幅-距離曲線、相移-距離曲線等測量分析功能。

• 采用高精度嵌入式測控系統(tǒng)，主機隔音抗震設計，抗干擾能力強。

• 可擴展納米加工、掃描隧道顯微鏡、靜電力顯微鏡等掃描探針顯微鏡功能。

• 可選配不同掃描范圍的管型掃描器，或平面閉環(huán)型掃描器。

• 可通過選配模塊和擴展接口增強系統(tǒng)功能。

激光檢測示意圖

主要技術參數(shù)

• 一鍵式快速自動進樣，行程23mm，最小步距50nm。

• 手動調(diào)節(jié)樣品檢測位置，調(diào)節(jié)范圍±10.0mm。

• 樣品尺寸的直徑20mm，厚度20mm。

• 標配管型掃描器，掃描范圍約為20μm×20μm×5μm。

• 樣品逐行掃描成像，掃描成像速率0.1-30行/秒。

• 一次掃描多幅圖像，圖像分辨高達1024×1024物理象素。

• 內(nèi)置數(shù)模混合結構的鎖相放大器，數(shù)字化PID反饋控制的響應時間為10μs。

• 嵌入式測控系統(tǒng)采用主頻為450MHz的雙核處理器（ARM + DSP），與上位機連接采用以太網(wǎng)TCP/IP通訊協(xié)議。

標準配置：

• 主控制器

• 主機底座及隔音罩

• 主機探頭及探針架（L型）

• 手動樣品調(diào)節(jié)臺（調(diào)節(jié)范圍±10.0mm）

• 管型掃描器（掃描范圍20μm）

• 計算機及專用測控軟件

• 儀器附件

L型探針架（上：正面；下：背面）

選配模塊：

• 納米加工模塊，包括：圖形化納米加工、機械刻蝕、矢量掃描等功能

• 掃描隧道顯微鏡（STM）模塊，包括：掃描隧道顯微鏡的硬件與軟件、STM探針架（WinSPM T-Probe）  

• 輔助觀察光學顯微鏡系統(tǒng)：物鏡倍數(shù)：0.7X～4.5X；總放大倍數(shù)：42-266X連續(xù)可調(diào)（14”有效顯示面積）；工作距離：115mm 

• 管型掃描器模塊：掃描范圍有8μm、20/30μm和100μm共3種規(guī)格

• 平面閉環(huán)掃描器：掃描范圍為30μm×30μm×9μm，閉環(huán)分辨率約1.5nm，垂直方向的諧振頻率約為40kHz

• 導電原子力顯微鏡（C-AFM）

• 靜電力顯微鏡（EFM）

• 磁力顯微鏡（MFM）

應用領域及實驗

• 實驗一：原子力顯微鏡的基本原理與應用，典型的應用領域為納米研究、教學教育。

• 實驗二：原子力顯微鏡形貌成像及分析，典型實驗內(nèi)容包括：軟磁盤或光盤等常規(guī)樣品形貌成像及分析、光柵樣品的形貌成像及關鍵尺寸測量、納米臺階的測量分析。

• 實驗三：譜曲線測量與納米力學實驗，典型實驗內(nèi)容包括：力-距離曲線的測量分析、液體膜厚度的測量與分析。

• 實驗四：掃描隧道顯微鏡（STM），包括形貌成像和隧道譜。（需增配STM模塊）

• 實驗五：納米加工實驗，如圖形化納米刻蝕實驗。（需增配納米加工模塊） 

• 實驗六：其它基于特殊針尖或?qū)嶒灧椒ǖ脑恿︼@微鏡的應用領域，包括：導電原子力顯微鏡（C-AFM）、靜電力顯微鏡（EFM）、磁力顯微鏡（MFM）等。（需增配或定制相應的功能模塊）。