性能

少數(shù)載流子壽命的檢測能力Automated determination of cut off criteria

優(yōu)勢

• 光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測的世界記錄。
• 在1分鐘內完成分辨率大于1mm成像掃描測試，同時可完成電導類型轉變的空間分布掃描和電阻率的
• 線掃描測試。客戶定義的切割標準可以傳輸?shù)骄A廠數(shù)據(jù)庫，該數(shù)據(jù)庫允許對下一代光伏晶圓廠進行自動化的材料監(jiān)控。
• 對爐料進行質量控制和爐況監(jiān)測，并進行失效分析。特殊的“underneath the surface”測量技術大大減少了表面重組造成的數(shù)據(jù)失真。
  
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  Recognition of cracks, chunks etc. Automated cut criteria definition, lifetime map 
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• 技術參數(shù)
  

  樣品	多晶硅晶錠
  樣品尺寸	125 x 125到 210 x 210 mm²
  硅錠長度	600 mm
  電阻率	0.2 - 10³ Ohm cm
  電導類型	p, n
  材質	多晶硅
  檢測性能	壽命(穩(wěn)態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的)，光電導性
  激發(fā)光源	980 nm （默認）
  測量時間取決于樣品	例如1mm分辨率 156 x 156 mm², 300 mm：不到2分鐘
  尺寸	2300 x 800 x 1200 mm, 重量：250 kg
  電源	110/220V, 50/60 Hz, 8 A

  
  其它細節(jié)
  • 全自動化
  • 晶錠圖和線掃描
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• 選項

  • 電阻率圖 ，1 cm² 分辨率
  • p/n 等效圖，1 mm² ­分辨率
  • 鐵濃度分布圖
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