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MDpicts 微波探測(cè)光誘導(dǎo)電流瞬態(tài)譜儀

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公司名稱 弗萊貝格儀器（上海）有限公司
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所在地 上海市
廠商性質(zhì) 其他
更新時(shí)間 2024/4/26 17:20:16
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模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開(kāi)模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開(kāi)模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴。

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MDpicts微波探測(cè)光誘導(dǎo)電流瞬態(tài)譜儀圖1.與溫度有關(guān)的載流子發(fā)射瞬態(tài)靈敏度：對(duì)半導(dǎo)體材料電學(xué)缺陷有靈敏度溫度范圍：液氮(77k)至500k

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MDpicts
微波探測(cè)光誘導(dǎo)電流瞬態(tài)譜儀
圖1. 與溫度有關(guān)的載流子發(fā)射瞬態(tài)

靈敏度：對(duì)半導(dǎo)體材料電學(xué)缺陷有靈敏度
溫度范圍：液氮(77k)至500k。可選:液氦(4k)或更高溫度
衰減常數(shù)范圍：20納秒到幾毫秒
沾污檢測(cè)：電學(xué)陷阱基本性能確定：激活能和陷阱的俘獲截面，受溫度和注入水平影響的少子壽命參數(shù)等

重復(fù)性：> 99.5%，測(cè)量時(shí)間：< 60分鐘。液氮消耗：2升/次
靈活性：從365 nm 到1480nm，根據(jù)不同材料選擇不同波長(zhǎng)激發(fā)光源
可訪問(wèn)性：基于IP的系統(tǒng)允許來(lái)自世界任何地方的遠(yuǎn)程操作和技術(shù)支持

圖2. 不同缺陷的評(píng)價(jià)

從Arrhenius斜率(圖3)可以確定活化能。

圖3.Arrhenius曲線圖

利用這種新型MDPpicts設(shè)備，可在20~500k范圍內(nèi)測(cè)量溫度依賴性的瞬態(tài)光電導(dǎo)。

Si, GaAs, InP, SiC和其他很多半導(dǎo)體材料已成功采用了這種方法進(jìn)行研究。

圖4. 不同溫度的Cz-Si晶圓片的MD-PICTS圖譜

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