能量色散型X熒光光譜儀EDX原理簡(jiǎn)介
來自X射線管的特征X射線照射到樣品上，樣品中含有的元素受X射線激發(fā)后會(huì)發(fā)出能量的X射線熒光。用檢測(cè)器檢測(cè)X射線熒光，根據(jù)X射線熒光的能量進(jìn)行定性（確定含有什么元素），根據(jù)X射線熒光的強(qiáng)度進(jìn)行定量（確定元素的含量）。
檢測(cè)器直接測(cè)定的是元素X射線熒光的強(qiáng)度，而我們關(guān)心的是元素的含量。利用X射線熒光的強(qiáng)度與元素含量存在比例關(guān)系，我們通過測(cè)定已知含量的標(biāo)準(zhǔn)樣品建立工作曲線（安裝工程師設(shè)定），再根據(jù)待測(cè)樣品的X射線熒光的強(qiáng)度通過計(jì)算機(jī)自動(dòng)換算為含量值。
電子電氣生產(chǎn)企業(yè)為何要購買XRF/EDX
一、應(yīng)對(duì)各種環(huán)保法規(guī)的要求：
1）RoHS/ELV指令
| No. | 限制物質(zhì) | 容許含量（ppm） |
| 名稱 | RoHS | ELV |
| 1 | 鎘(Cd) | 100 | 100 |
| 2 | 鉛(Pb) | 1000 | 1000 |
| 3 | 汞(Hg) | 1000 | 1000 |
| 4 | 六價(jià)鉻(Cr6+) | 1000 | 1000 |
| 5 | 聚溴聯(lián)苯(PBB) | 1000 | - |
| 6 | 聚溴二苯醚(PBDE) | 1000 | - |
2）IEC61249無鹵法規(guī)對(duì)鹵素的限制物質(zhì)和閾值（ppm）
| 限制元素 | Br | Cl | Br和Cl總量 |
| 閾值 | < 900 | < 900 | < 1500 |
3）歐盟玩具EN71－3及美國ASTM F963中關(guān)于八大可溶性重金屬的限制及應(yīng)對(duì)
| 玩具限制物質(zhì) | 檢測(cè)儀器 | 標(biāo)準(zhǔn) |
| Sb（銻） | ICP/AA/EDX | 60PPM |
| As（砷） | ICP/AA/EDX | 25PPM |
| Ba（鋇） | ICP/AA/EDX | 1000PPM |
| Cd（鎘） | ICP/AA/EDX | 75PPM |
| Cr（鉻） | ICP/AA/EDX | 60PPM |
| Pb（鉛） | ICP/AA/EDX | 90PPM |
| Hg（汞） | ICP/AA/EDX | 60PPM |
| Se（硒） | ICP/AA/EDX | 500PPM |
歐盟IEC技術(shù)委員會(huì)推薦，X射線熒光法作為行業(yè)認(rèn)可的快速篩選方法。
2、構(gòu)建綠色產(chǎn)品和綠色環(huán)保供應(yīng)鏈的要求：
國際、國內(nèi)近年頒發(fā)了多個(gè)電子電氣行業(yè)的環(huán)保指令，但由于電子電氣產(chǎn)品的復(fù)雜性，樣品拆分、精確測(cè)試等各種方法至今仍未統(tǒng)一。中國、歐盟、美國和其他國家并沒有大規(guī)模對(duì)上市的超標(biāo)產(chǎn)品采取嚴(yán)厲的處罰手段。
而電子企業(yè)更多的是考慮社會(huì)責(zé)任和品牌形象。為了人類和地球的健康，他們紛紛制定了比各種指令和法規(guī)更嚴(yán)格的自律要求，要求各級(jí)供應(yīng)商提供環(huán)保的零部件，甚至規(guī)定各供應(yīng)商購買儀器并制定環(huán)保生產(chǎn)體系，如SONY、美的、松下等。
3、電子生產(chǎn)企業(yè)的實(shí)際要求：
電子生產(chǎn)企業(yè)不是專業(yè)的測(cè)試機(jī)構(gòu)，他們普遍對(duì)測(cè)試設(shè)備有以下要求：
1、樣品無需復(fù)雜的前處理、無需專業(yè)的化學(xué)人才和試劑；
2、檢測(cè)時(shí)間快，能滿足大量樣品需要；
3、操作簡(jiǎn)便，易學(xué)；
4、使用成本低
而EDX具備了以上的所有優(yōu)點(diǎn)。
EDX-LE的優(yōu)勢(shì)：
一、設(shè)計(jì)理念：從“分析儀器”到“檢查儀器”蛻變
1、反映電子電氣生產(chǎn)企業(yè)真正需求的專用儀器：
判斷產(chǎn)品是否符合RoHS指令或客戶需求是絕大多數(shù)EDX的日常工作，EDX-LE精煉EDX-720和EDX-GP等各種分析方法，建立了專門的自動(dòng)篩選分析法。
2、使用簡(jiǎn)便、故障率低的儀器 ：
配備電子制冷檢測(cè)器減少了日常維護(hù)工作；
配置自動(dòng)點(diǎn)檢功能，延長X射線光管和高壓發(fā)生器的使用壽命；
初學(xué)者也可以操作的導(dǎo)航式畫面，不依賴于操作人員的水平也能得出準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)；
“起動(dòng)?校正”等儀器自動(dòng)穩(wěn)定程序，避免操作人員的失誤操作。
3、型產(chǎn)品的高性能儀器：
通過濾光片、工作曲線法、FP法、形狀和厚度修正軟件等一系列的硬件、軟件配合，限度克服電子制冷檢測(cè)器分辨率偏低的不足，基本上達(dá)到液氮制冷EDX-GP的測(cè)試效果。
4、本質(zhì)安全的儀器：
設(shè)計(jì)充分考慮到X射線的防護(hù)，儀器工作時(shí)周圍一米內(nèi)的X射線強(qiáng)度小于國際標(biāo)準(zhǔn)1µsv/h，是得到國內(nèi)環(huán)保部門豁免的EDX類儀器。
二、檢測(cè)能力：提高用戶不受相關(guān)法規(guī)處罰的安全系數(shù)。
1、超標(biāo)的元素能如實(shí)檢測(cè)出來：
*選用高靈敏度、高計(jì)數(shù)率的檢測(cè)器，塑膠中五元素的檢測(cè)下限都在5ppm以內(nèi)；
*使用有針對(duì)性的濾光片，降低背景，提高信噪比；
PVC塑膠@100秒
| 裝置 | Cd (ppm) | PbLa (ppm) |
| EDX-GP | 1.7 | 1.7 |
| EDX-LE | 2.2 | 2.3 |
2、避免將合格的樣品誤判：
*同類檢測(cè)器中的分辨率，對(duì)于干擾較多的Pb元素，選用兩條特征譜線分析；
*采用工作曲線法為主，F(xiàn)P法補(bǔ)充的分析方法，篩選分析軟件可根據(jù)樣品材質(zhì)自動(dòng)選擇的分析方法，避免操作人員的誤判；
*形狀和厚度修正軟件，避免不規(guī)則樣品帶來的誤差
3、符合RoHS指令的報(bào)告格式
輸出報(bào)告中含有測(cè)試數(shù)據(jù)、標(biāo)準(zhǔn)偏差、譜圖和樣品圖片等各種RoHS指令必需的信息。
