一、儀器整機(jī)主要性能參數(shù)：
1、波長(zhǎng)范圍：180-800nm（2400刻線/mm）或180-500nm（3600刻線/mm）
2、分辨率：在180-500nm整個(gè)波段內(nèi)分辨率≤0.006nm
3、波長(zhǎng)示值誤差和重復(fù)性：波長(zhǎng)示值誤差≤0.02nm，重復(fù)性≤0.003nm
4、掃描步距：可達(dá)0.0004nm
5、精密度：RSD≤1.5%
6、穩(wěn)定性：RSD≤2.0%
7、檢出限：PPb級(jí)
8、分析元素范圍：可對(duì)72種金屬元素和部分非金屬元素（如B、P、Si、Se、Te）進(jìn)行定量和定性分析
9、線性范圍：7個(gè)數(shù)量級(jí)以上。
10、分析速度：每分鐘掃描20個(gè)元素以上
11、等級(jí)證書：國(guó)家計(jì)量器具形式許可A級(jí)
二、儀器各部件詳細(xì)參數(shù)：
全自動(dòng)等離子體發(fā)射光譜儀射頻發(fā)生器（RF）
（1）電路類型：電感反饋?zhàn)约な秸袷庪娐?、同軸電纜輸出、匹配調(diào)諧、取功率反饋信號(hào)，進(jìn)行閉環(huán)自動(dòng)控制
（2）工作頻率：40.68MHz ± 0.05%
（3）頻率穩(wěn)定性：≤0.05%
（4）輸出功率：800—1500W，自動(dòng)調(diào)整
（5）輸出功率穩(wěn)定性：≤0.3%
（6）電磁場(chǎng)泄漏射強(qiáng)度：距機(jī)身20cm 處，電場(chǎng)強(qiáng)度E：＜2 V / m
全自動(dòng)等離子體發(fā)射光譜儀進(jìn)樣裝置
（1）輸出工作線圈：內(nèi)徑25mm 、3匝
（2）炬管：三同心型，外徑20mm的石英炬管
（3）同軸型噴霧器：外徑6mm
（4）雙筒型霧室：外徑34mm
（5）觀測(cè)位置：縱向觀察高低和橫向觀察前后，可通過(guò)軟件直觀地調(diào)為
（6）氬氣流量計(jì)規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格：
1、等離子氣流量計(jì)：(100－1000)L/h (1.6－16L/min)
2、輔助氣流量計(jì)：(10－100)L/h (0.16－1.66L/min)
3、載氣流量計(jì)：(10－100)L/h (0.16－1.66L/min)
4、載氣穩(wěn)壓閥：(0－0.4Mpa)L/h
5、冷卻水：水溫：21－26℃ 流量＞5L/min 水壓＞0.1Mpa 冷卻水：電阻率＞1MΩ
分光器
（1）光路：Czerny－Turner
（2）焦距：1000mm
（3）光柵規(guī)格：離子刻蝕全息光柵；刻線密度3600線/mm，刻線面積：80×110mm
(或刻線密度2400線/mm，刻線面積：80×110mm)
（4）線色散率倒數(shù)：0.26nm/mm
（5）分辨率：≤0.007nm（整個(gè)波段）
（6）掃描波長(zhǎng)范圍： 180-500nm，3600刻線/mm；
180-800nm，2400刻線/mm
（7）掃描步距：0.0004nm
（8）出射、入射狹縫：20μm×25μm
（9）反射鏡規(guī)格：（78×105×16）mm
（10）透鏡：φ30，1:1成像
（11）反射鏡規(guī)格：凹型
（12）分光器恒溫裝置：34℃±0.5℃
測(cè)光裝置
（1）光電倍增管規(guī)格：日本高效R212UH或R928
（2）光電倍增管負(fù)高壓：200-1000V，自動(dòng)調(diào)節(jié)，穩(wěn)定性＜0.01%
（3）光電倍增管電流測(cè)量范圍：10-4~10-9A
（4）信號(hào)采集為V/F交換：1mV對(duì)應(yīng)100Hz
（5）采樣電路：使用國(guó)外高精密度運(yùn)算放大器，使儀器的靈敏度和精確度大大提高
（6）儀器數(shù)據(jù)采集：通過(guò)串口與電腦連接，從而簡(jiǎn)化了電路使連接更加便捷
（7）測(cè)光方式：?jiǎn)?、多元素順序測(cè)量
操作軟件：
（1）操作系統(tǒng)：Windows XP 或者Windows 7操作平臺(tái)
（2）測(cè)定波長(zhǎng)數(shù)：任意選擇
（3）分析速度：每分鐘20個(gè)元素以上
（4）數(shù)據(jù)庫(kù)：譜線庫(kù)11萬(wàn)條以上
（5）多窗口：在測(cè)量完一次結(jié)果后可以在顯示窗口保留上次結(jié)果同時(shí)、測(cè)量下一樣品；
（6）標(biāo)準(zhǔn)加入法：軟件要有標(biāo)準(zhǔn)加入法，以便在不同條件和應(yīng)用中下使用
（7）分析模式：軟件默認(rèn)分析模式，擁有儀器診斷、譜圖分析及幾種測(cè)量方式和幾種積分模式， 單位任選等多種功能
（8）歷史數(shù)據(jù)庫(kù)：在歷史數(shù)據(jù)庫(kù)中，可以同時(shí)可選擇性地打印想要打印的批次分析結(jié)果或者轉(zhuǎn)換成 Exce
（9）數(shù)據(jù)輸出：軟件支持激光打印機(jī)打印分析結(jié)果
