X 射線(xiàn)光電子能譜儀是一款ESCALAB 系列產(chǎn)品。ESCALAB Xi + 基于可擴(kuò)展功能、系統(tǒng)優(yōu)化以及多分析技術(shù)的集成化平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)了高靈活性和完備的配置選項(xiàng)。前沿技術(shù)、直觀的軟件操作以及硬件配置，帶給用戶(hù)優(yōu)異的實(shí)驗(yàn)結(jié)果和生產(chǎn)力。數(shù)據(jù)系統(tǒng)提供系統(tǒng)控制、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理與系統(tǒng)運(yùn)行報(bào)告等一站式服務(wù)。

分析性能

• 定量能譜成像

• 快速平行成像，分辨率優(yōu)于1µm

• 無(wú)需背底修正探測(cè)器

• 高靈敏度和能量分辨率

• 微聚焦單色源

• 元素化學(xué)成像分析

• 自動(dòng)化高效離子剖析源

• 一鍵式電荷補(bǔ)償

現(xiàn)代化操作

• 高度自動(dòng)化

– 分析區(qū)域和角度分辨可選

– 自動(dòng)化氣體調(diào)節(jié)和真空控制

• 隨時(shí)校準(zhǔn)

– 能量的刻度和傳輸函數(shù)的校準(zhǔn)

– 離子槍定位和離子束聚焦

• 鼠標(biāo)點(diǎn)擊樣品導(dǎo)航和分析設(shè)置

– 實(shí)時(shí)顯示分析位置

– 高強(qiáng)度照明

靈活的設(shè)計(jì)

• 標(biāo)配ISS和REELS功能

• 標(biāo)配多功能進(jìn)樣室

•UPS和AES/SEM/SAM/EDS功能可選

• 可選的樣品預(yù)處理附件，包括：

– 樣品斷裂臺(tái)、單晶解理、樣品刮片

– 樣品加熱/冷卻裝置

– 大面積清潔離子槍

– 高壓反應(yīng)室