表面粗糙度測(cè)量?jī)xDTR技術(shù)參數(shù)：

測(cè)量范圍    Z軸（垂直）160μm   /  X軸（水平）17.5mm（0.71inch）

分辨率Z軸（垂直） 0．01μm/±20μm   0．02μm/±40μm   0．04μm/±80μm

測(cè)量參數(shù) Ra、Rz==Ry(JIS)、Rq、Rt==Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr

顯示范圍 Ra,Rq：0.005μm~16μm；Rz,Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,：0.02μm~160μm Rsm, Rs：1mm；Rmr：0~99%；Rsk：0~99%

圖形 支承率曲線，粗糙度輪廓，直接輪廓

濾波器 RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長(zhǎng)度(lr) 0.25,0.8,2.5mm

評(píng)定長(zhǎng)度（ln） Ln= lr×n n=1~5

測(cè)量原理 位移式差動(dòng)電感

觸針 天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測(cè)力 <4mN

導(dǎo)頭 硬質(zhì)合金，滑行方向半徑40mm

滑行速度 lr=0.25, Vt=0.135mm/s   lr=0.8, Vt=0. 5mm/s   lr=2. 5, Vt=1mm/s 返回 Vt=1mm/s

示值誤差 不大于±10%

示值變動(dòng)性 不大于6%