產(chǎn)品參數(shù)：

? 測量原則：探針法

? 輸入：BFW 無導(dǎo)塊系統(tǒng)配有 MarSurf SD 26 驅(qū)動裝置和/或PHT有導(dǎo)塊系統(tǒng)配有MarSurf RD 18驅(qū)動裝置

? 測量范圍mm：+/- 250 µm（高達(dá)+/- 750 µm，3x 測桿長度）適用于BFW系統(tǒng)；350 µm 適用于PHT測頭系統(tǒng)

? 掃描長度（文本）：MarSurf GD 26 / SD 26：自動；0.56 mm*；1.75 mm；5.6 mm；17.5 mm，56 mm，

? 采樣長度數(shù)量符合ISO/JIS：1至50（默認(rèn)：5）

? 測量力 (N)：0.75 mN

? 表面參數(shù)：超過80種；符合 ISO / JIS或MOTIF (ISO 12085) 標(biāo)準(zhǔn)的表面參數(shù)可用于R-、P- 和W輪廓