αL4X-911R1主動(dòng)式隔振平臺(tái)是結(jié)合了空壓（低頻）和線性馬達(dá)（高頻）的兩種優(yōu)點(diǎn)，專為掃描電子顯微鏡而設(shè)計(jì)的高精密隔振平臺(tái)。

本主動(dòng)隔振系統(tǒng)可將影響儀器設(shè)備正常工作的安裝場(chǎng)地的細(xì)微振動(dòng)，在所有頻率范圍內(nèi)予以全面衰減而不降低儀器設(shè)備本身具有的各項(xiàng)性能。

αL4X-911R1的基本原理和功能

利用加速度傳感器檢測(cè)地板的振動(dòng)，通過6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動(dòng)控制，由氣動(dòng)和線性馬達(dá)執(zhí)行器來實(shí)現(xiàn)振動(dòng)衰減，消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場(chǎng)地的細(xì)微振動(dòng)，滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動(dòng)值。

技術(shù)參數(shù)：