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激光誘導擊穿光譜(LIBS)

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什么是激光誘導激光光譜系統(tǒng)?激光誘導擊穿光譜(LIBS)是一種原子發(fā)射光譜儀

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什么是激光誘導激光光譜系統(tǒng)?

激光誘導擊穿光譜(LIBS)是一種原子發(fā)射光譜儀??梢詫滔唷⒁合嗪蜌庀嗷w中幾乎所有元素進行定性和定量的分析。不同于傳統(tǒng)的檢測方法如ICP-OES或者XRF,LIBS在檢測過程中無需進行復雜的樣品制備。為了達到這個目的,LIBS采用高能量聚焦脈沖激光光束將樣品激發(fā)至等離子態(tài),對產(chǎn)生的對應元素發(fā)射譜進行分析。元素發(fā)射譜的波長與元素的種類直接相關,而元素譜線的強度則和元素的含量相關。

 

激光誘導擊穿光譜技術特點

激光誘導擊穿光譜技術系統(tǒng)在進行元素分析的時候,需要樣品量極少,對樣品的破壞性??;具有自清潔能力,幾乎不需要樣品制備;可以實現(xiàn)快速實時在線分析;具有遙測能力,可實現(xiàn)有毒、強輻射等惡劣環(huán)境中的遠距離、非接觸性測量;具有ppm量級探測靈敏度,可對痕量元素進行探測。

 

激光誘導擊穿光譜產(chǎn)品構成:

多通道光譜儀MX2500+,憑借其高效的外部同步時鐘,的協(xié)同了所有通道實現(xiàn)精確的延遲采集,準確的在原子激發(fā)輻射突出時采集到完整的原子譜線信號。同時,MX2500+可以應客戶的需求在180-1100nm的范圍內(nèi)自由的配置光譜儀的通道數(shù)量和覆蓋范圍,系統(tǒng)自帶的高效時鐘可以的同步所有通道,并同時實現(xiàn)精確觸發(fā)兩臺外部設備。(如激光器或微波增強設備)

激光器:常使用Nd:YAG激光器,激光器的脈沖寬度一般為納秒量級,能夠在極短時間內(nèi)在極小面積上集中大量能量,作為系統(tǒng)激勵源,將樣品表面微量物質(zhì)剝離并激發(fā)出等離子體。

樣品倉:密閉穩(wěn)定的倉式結構,一般會包含樣品平臺,激光聚焦和收光光路,氣體吹掃系統(tǒng),成像系統(tǒng),激光安全保護等配套裝置。

 

產(chǎn)品特點:

· 可搭配穩(wěn)定高效的樣品倉系統(tǒng)

· 可升級光譜模塊

· 支持雙脈沖激光器

· 寬光譜高分辨率測量,180-1100nm范圍內(nèi)多達16384個像元

· 高觸發(fā)信號精度(±10ns)

 

應用方向:

· 環(huán)境監(jiān)測(土壤污染,工業(yè)生產(chǎn))

· 材料分析(金屬,煤炭,塑料)

· 醫(yī)學和生物化學(骨骼,牙齒)

· 國家安全(爆炸,生化)

· 藝術品鑒定(顏料,陶瓷,寶石)

 等離子體發(fā)光測量:

MX2500+不僅僅可以組建激光誘導擊穿光譜系統(tǒng),還可以用在各種各樣的原子光譜測量場合。例如電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法(ICP-OES)聯(lián)合使用,作為燃燒爐后端光譜采集設備。

寬波段、高分辨的多通道光譜儀MX2500+也是激光的測量的應用中的一把利器。

大氣壓輝光放電過程中會生成等離子體,采用多通道光譜儀MX2500+測量等離子體,對使用大氣壓輝光放電的工作實現(xiàn)了實時過程監(jiān)測。

等離子刻蝕是半導體及微系統(tǒng)制造超大規(guī)模集成電路制造過程中的關鍵步驟,使用多通道光譜儀MX2500+實時監(jiān)測等離子體光譜,即可在刻蝕過程中精確的定位蝕刻終點,提升刻蝕的工藝水平。

技術參數(shù)

系統(tǒng)性能參數(shù)

可測元素

原子序數(shù)Z≥1

濃度范圍

≥10ppm,取決于元素種類

樣品性狀

固體或壓片粉末

樣品尺寸

30*30*20mm(x*y*z)

樣品重量

2kg

平移臺行程范圍

60*60*60mm(x*y*z)

光斑尺寸

≤50um,激光波長1064nm

激光器波長

Nd:YAG 1064nm/532nm可選

激光器能量

50mJ/200mJ可選

光纖

抗紫外光纖

成像

可選高倍微觀視野

軟件

控制硬件設備,獲取數(shù)據(jù)

支持二次開發(fā),動態(tài)鏈接庫

光譜處理算法,熒光背景扣除

光譜儀參數(shù)

波長范圍

180nm-1100nm

通道數(shù)

1~8通道

光學分辨率

0.1nm(FWHM)

探測器

線陣CCD/面陣CCD可選

積分時間

1ms~65s

觸發(fā)延遲

±450us

觸發(fā)抖動

±10ns

尺寸重量

MX2500+尺寸(8通道)

460mm*150mm*165mm

MX2500+重量(8通道)

7kg

樣品倉尺寸

450mm*360mm*460mm

樣品倉重量

25kg

激光驅(qū)動器尺寸

360mm*133mm*435mm

激光驅(qū)動器重量

14kg


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