OMI 深紫外-近紅外
多功能波前傳感器
技術(shù)規(guī)格 |
硬件 |
測(cè)試 | 光學(xué)元件、激光器和激光二極管 |
可測(cè)試的激光二極管功率 | 幾兆瓦，更高的功率需要一個(gè)功率降低系統(tǒng)（可選購(gòu)） |
微透鏡陣列數(shù)量（見(jiàn)如下相機(jī)） | 32x32（深紫外-可見(jiàn)光-近紅外），瞳面直徑6.5mm |
標(biāo)準(zhǔn)小透鏡陣列的直徑和焦距 | ? Φ=0.2mm、f=22mm，適用于120-750nm的紫外-可見(jiàn)光波段 ? Φ=0.2mm、f=11mm，適用于751-1000nm的近紅外波段 |
軟件 |
軟件（控制和分析） | Sensoft適用于Win7, Win8, Win10 64bit |
Zernike系數(shù)的RMS可重復(fù)性 | <2nm rms（λ/ 800 @ 1550nm） |
模態(tài)波前測(cè)量的RMS重復(fù)性 | <λ/ 100 |
精度和動(dòng)態(tài)范圍 | λ/ 20-λ/ 100（取決于校準(zhǔn)），±50λ |
相機(jī) |
探測(cè)器、波長(zhǎng)范圍和散熱 | Back Thinned CCD（深紫外-可見(jiàn)光-近紅外）。高量子效率：在200nm時(shí)超60%，在650nm時(shí)超90%，無(wú)需散熱。 |
分辨率、像素尺寸、芯片尺寸 | 640×480像素，每個(gè)14.0μm，8.96 x 6.72 mm2 |
接口，A / D轉(zhuǎn)換器 | CameraLink接口，12-bits |
采集速度 | 31 Hz（CCD） |
觸發(fā) | Yes |
曝光時(shí)間（） | 1 sec |
附件 |
光源，擴(kuò)束器和壓縮器 | 高質(zhì)量LD激光光源，附帶對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)下的整形鏡，擴(kuò)束鏡/縮束鏡 |
CCD的量子效率曲線
其他詳情 | 其他詳情 |
? 分辨率：640×480像素 | ? 分辨率：32×32（） |
? 像素尺寸：14.0μm×14.0μm | ? 微透鏡間距和焦距（紫外和可見(jiàn)光）：0.2mm，22mm |
? 芯片尺寸：15.15mm×15.15mm | ? 微透鏡間距和焦距（近紅外）：0.2mm，11mm |
? 圖像速率：31 Hz（解析度） | ? 平行光校準(zhǔn)裝置：靜態(tài)或動(dòng)態(tài)高質(zhì)量準(zhǔn)直儀，帶 |
? 行間傳輸傳感器飽和度：30000e- | 有對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)下的LD/LED |
? 曝光時(shí)間：1秒 | ? 電機(jī)節(jié)距：2.5μm |
? 接口：CameraLink |
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SENSOFT：軟件
Sensoft：模塊化軟件包
? 可控制OMI的硬件 ? 執(zhí)行Shack-Hartmann（SH）分析
? 計(jì)算Zernike系數(shù)，診斷（對(duì)準(zhǔn)和正確的焦平面），區(qū)域和模式波前，MTF，點(diǎn)列圖
? 具有用于光學(xué)系統(tǒng)在線調(diào)整的循環(huán)模式
OMI用于生產(chǎn)線：
? 帶有專用PC的OMI可以輕松的適應(yīng)生產(chǎn)線 ? 它可以與制造設(shè)備的PC形成閉環(huán)工作
? 軟件模塊定義IP通信協(xié)議，并在局域網(wǎng)中的PC之間傳輸結(jié)果
快速回路中的在線校準(zhǔn) MTF測(cè)量
除去數(shù)據(jù)中存在的傾斜和離焦的影響后的MTF
? 通過(guò)連續(xù)不斷地監(jiān)測(cè)彗差和像散，可以輕松實(shí)現(xiàn)復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)的校準(zhǔn)。
? 顯示彗差和像散的各個(gè)（x，y）部分以及總系數(shù)。
? 每次可以對(duì)一個(gè)組件進(jìn)行優(yōu)化，因?yàn)樵撥浖梢燥@示一個(gè)感興趣的組件。
帶深紫外-可見(jiàn)光相機(jī)的ECM上的OMI
? Φ=0.2mm、fl=22mm，適用于紫外-可見(jiàn)光波段（193-750nm）
? Φ=0.2mm、fl=11mm，適用于近紅外波段（750-1000nm）
? 分辨率32×32，適用于瞳孔直徑6.5mm
主體
相機(jī)：CCD, CameraLink, 12bits (120-1000nm)
外形尺寸：150 (L) x 82 (W) x 82 (H) mm
重量：800 g
主要特點(diǎn)
測(cè)量技術(shù)：哈特曼波前傳感器
在平行光下或單次鏡頭焦點(diǎn)測(cè)試：
平行光（帶有校準(zhǔn)裝置）
對(duì)準(zhǔn)鏡頭的焦點(diǎn)（帶有針孔校準(zhǔn)裝置）
可用不同波長(zhǎng)的光源
提供校準(zhǔn)裝置：
高品質(zhì)平行光源（電動(dòng)或手動(dòng)）
針孔校準(zhǔn)裝置
配件：光源、擴(kuò)束器/壓縮器、準(zhǔn)直儀
軟件
? 全面波前分析：Zernikes，分區(qū)和模擬WF，點(diǎn)列圖，MTF，EE，PSF，M2
? 通過(guò)軟件輕松對(duì)準(zhǔn)鏡片組：使用彗差和像散校正的圖形指示
? 激光的穩(wěn)定性：激光束聚焦的圖形指示
