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Horiba 相位調(diào)制型橢圓偏振光譜儀 UVISEL Plus

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基于的電子設(shè)備,數(shù)據(jù)處理和高速單色儀,F(xiàn)astAcqTM技術(shù)能夠?yàn)橛脩籼峁└叻直婕翱焖俚臄?shù)據(jù)采集,雙單色儀系統(tǒng)可達(dá)到0.1-2 nm。AutoSoft軟件界面以工作流程直觀為特點(diǎn),使得數(shù)據(jù)采集分析更加簡便,易于非專業(yè)人員上手操作。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

速度提升1.5倍

UVISEL Plus集成了的FastAcqTM快速采集技術(shù),可在3分鐘以內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品測試(190-2100 nm),校準(zhǔn)僅需幾分鐘。

靈敏度提升2倍

基于25年經(jīng)驗(yàn),UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀提供純正有效的偏振調(diào)制,可用于各種樣品的精確測量,的FastAcqTM速采集技術(shù)使得測試靈敏度提高至原有的兩倍,從而能獲得面薄膜和納米級(jí)低襯度襯底樣品的更多信息。

靈活拓展

UVISEL Plus橢偏儀模塊化設(shè)計(jì),可靈活拓展,以適應(yīng)的應(yīng)用及預(yù)算需求。相較于其他供應(yīng)商,UVISEL Plus統(tǒng)的可升級(jí)性能將更好的滿足您未來的應(yīng)用需求。

優(yōu)質(zhì)的性能

UVISEL Plus基于相位調(diào)制技術(shù),相位調(diào)制與高質(zhì)量消色差光學(xué)設(shè)計(jì)的結(jié)合提供了無可匹的膜厚測試效果。

?信號(hào)采集過程無移動(dòng)部件

?光路中無增加元件

?高頻調(diào)制 50 kHz

?測試全范圍的橢偏角,Ψ (0-90,Δ (0-360)

項(xiàng)目 內(nèi)容
光譜范圍

UVISEL Plus:190 - 885 nm

UVISEL Plus NIR:190 - 2100 nm

光源 75 W 氙燈
標(biāo)準(zhǔn)光斑尺寸 < 3 mm (90o)
手動(dòng)平臺(tái) 150 mm, 手動(dòng)調(diào)節(jié)高度 (20 mm) 和傾斜角
入射角 手動(dòng):55o - 90o,步長5o
FUV-VIS范圍 高靈敏度光電倍增管檢測器&低雜散光
NIR范圍 InGaAs檢測器


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