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SH系列雙面點(diǎn)針探針臺(tái)

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雙面點(diǎn)針探針臺(tái)可用于晶圓和PCB板測(cè)試,用 于需要正面和背面同時(shí)扎針,以實(shí)現(xiàn)各種光/電性能測(cè)試需求的測(cè)試設(shè)備。該定制探針臺(tái)具有優(yōu)良的機(jī)械系統(tǒng),穩(wěn)定的結(jié)構(gòu),符合人體工程學(xué),以及多項(xiàng)升級(jí)功能??蓮V泛應(yīng)用于集成電路、Wafer ,LED LCD、太陽(yáng)能電。

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產(chǎn)品特點(diǎn):

雙面點(diǎn)針探針臺(tái)可用于晶圓和PCB板測(cè)試,用 于需要正面和背面同時(shí)扎針,以實(shí)現(xiàn)各種光/電性能測(cè)試需求的測(cè)試設(shè)備。該定制探針臺(tái)具有優(yōu)良的機(jī)械系統(tǒng),穩(wěn)定的結(jié)構(gòu),符合人體工程學(xué),以及多項(xiàng)升級(jí)功能??蓮V泛應(yīng)用于集成電路、Wafer ,LED LCD、太陽(yáng)能電。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

可同時(shí)完成DC和RF測(cè)試大手柄雙驅(qū)動(dòng),省時(shí),省力,省心雙光路系統(tǒng),上光路可升級(jí)加載光電流系統(tǒng)。

 

 

        

型號(hào)

   技術(shù)參數(shù)    

SH-6

SH-8

SH-12

臺(tái)體

整機(jī)尺寸(mm)

700mmL*700mmW*720mmH

750mmL*750mmW*720mmH

880mmL*880mmW*720mmH

重量

85kg

100kg

160kg

卡盤大小

6" ,360 度轉(zhuǎn)動(dòng), 可微調(diào)

8",360 度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào)

12",360 度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào)

卡盤行程和精度

6"*6",精度10um

8"*8",精度10um

12"*12",精度 10um

卡盤材質(zhì)

高透射玻璃或者鏤空

固定方式

機(jī)械式壓片固定,尺寸可調(diào)

卡盤升降功能

Chuck可以上下快速升降5mm和微調(diào)升降6mm,精度1微米

可選附件

射頻校準(zhǔn)臺(tái);chuck 360度快速移動(dòng);探針座平臺(tái)升降;加熱等

針座平臺(tái)

類型

雙面點(diǎn)針平臺(tái),單個(gè)平臺(tái)最多可放置8個(gè)DR/L-100探針座

材質(zhì)

U型平臺(tái),鍍鎳,與探針座之間具備更強(qiáng)吸附力,帶接地端子

正面光學(xué)系統(tǒng)

倍率范圍

16X~100X/60X~420X/20X~4000X

顯微鏡行程

具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2 英寸,精度1um

CCD 成像系統(tǒng)

200 萬(wàn)/500 萬(wàn)像素,幀率 60fps,帶拍照、錄像、測(cè)量功能

背面光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型

L型單筒顯微鏡

連續(xù)變倍比

0.75X~5X

倍率范圍

40X~280X(可選高倍物鏡增加倍率)

CCD 成像系統(tǒng)

200 萬(wàn)/500 萬(wàn)像素,幀率60fps,帶拍照、錄像、測(cè)量功能

探針座

類型

DR/L-200m/V和DR/L-100m/V

X-Y-Z 行 程

12.5mm-12.5mm-12.5mm

機(jī)械精度

0.5um/0.7um

夾具

漏電精度

10pA/100fA

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口/SMA /裸線等

選件

屏蔽箱/防震桌/射頻探針卡/光電流顯微鏡/大功率



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