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LCL-13 薄膜測(cè)厚儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 天津良益科技股份有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 天津市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/1/26 13:10:50
  • 訪問(wèn)次數(shù) 85

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儀器簡(jiǎn)介:LCL-13型薄膜測(cè)厚儀根據(jù)多次反射光譜相干原理,本儀器可提供非接觸測(cè)量薄膜厚度,折射率,吸收系數(shù)等;采用軟件版本,具有納米級(jí)精確測(cè)量和方便使用等優(yōu)點(diǎn);測(cè)量方便度和準(zhǔn)確度遠(yuǎn)好于常用光學(xué)橢偏儀

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)




儀器簡(jiǎn)介:

   LCL-13型薄膜測(cè)厚儀根據(jù)多次反射光譜相干原理,本儀器可提供非接觸測(cè)量薄膜厚度,折射率,吸收系數(shù)等;采用軟件版本,具有納米級(jí)精確測(cè)量和方便使用等優(yōu)點(diǎn);測(cè)量方便度和準(zhǔn)確度遠(yuǎn)好于常用光學(xué)橢偏儀。是薄膜研究,光學(xué)鍍膜,和半導(dǎo)體生產(chǎn)的測(cè)量研究?jī)x器。



實(shí)驗(yàn)內(nèi)容:

1、學(xué)會(huì)薄膜和涂層的厚度測(cè)量及折射率和吸收系數(shù)的測(cè)定


     

主要配置和參數(shù):

序號(hào)

名稱

規(guī)格和參數(shù)

1

厚度范圍

20nm-50um(只測(cè)膜厚),100nm-10um(同時(shí)測(cè)量膜厚和光學(xué)常數(shù)n,k)根據(jù)薄膜材料的種類,其范圍有所不同

2

準(zhǔn)確度

<1nm或<0.5%

3

重復(fù)性

0.1nm

4

波長(zhǎng)范圍

380nm-1000nm

5

可測(cè)層數(shù)

1-4

6

樣品尺寸

樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm

7

測(cè)量速度

5s-60s

8

光斑直徑

1.2mm-10mm可調(diào)

9

樣品臺(tái)

290mm*160mm

10

光源

長(zhǎng)壽命溴鎢燈(2000h)

11

光纖

純石英寬光譜光纖

12

探測(cè)器

進(jìn)口光纖光譜儀

13

電源

AC100V-240V,50Hz-60Hz

14

重量

18kg

15

尺寸

300mm*300mm*350mm











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