PECVD 用熱電偶
客戶需求：熱電偶導熱快，抗干擾
建議：使用鎧裝接地熱電偶
鎧裝熱電偶（sheathed thermocouple）：sheath型是再細金屬管與熱電偶線之間充填粉末狀無機物再施予回火處理。
特性：sheath型具有，反應靈敏，高絕緣性，耐壓，耐沖擊，機械強度佳等優(yōu)點。
通常填充的粉末為：氧化鎂粉

1、spike tc

擴散爐用SPIKE熱電偶

spike tc（單組）、spike tc（雙組）、spike控溫熱偶、spike埋露式熱偶、擴散爐用熱偶、半導體設備用熱偶

產(chǎn)品詳細說明：

產(chǎn)品名稱：鉑銠（S/R/B）貴金屬熱電偶
分 度 號：R-type（S/B）
規(guī) 格：R-type（0.5）*ф3*200mml
材 質(zhì)：正極-13%銠 負極-鉑
測溫范圍：極限使用溫域：0℃~1768℃ 常用溫度：0℃~1450℃
精 度：CLASS A 0.25%
適用場所：擴散爐、氧化爐等半導體設備
特 點：耐高溫、一般作為熱偶的規(guī)范、可以進行雙組控制

高純石英管Profile熱電偶

profile tc、profile t/c 、高純石英管熱電偶、擴散爐用熱電偶、半導體行業(yè)用熱電偶、校驗熱偶profile、

產(chǎn)品詳細說明：

產(chǎn)品名稱：貴金屬（B/R/S）鉑銠熱電偶
分 度 號：S-type（R/B） profile T/C(高純石英管)熱電偶：
材 質(zhì)：正極-10%銠 負極-鉑
高純石英管：耐溫0~1280℃
S分度鉑銠絲：0~1450℃
熱偶測溫范圍：極限溫域：-270℃~1768℃ 常用溫度：0℃~1268℃
精 度：CLASS A
適用場所：半導體擴散爐
特 點：與spike同時使用來檢測SPIKE TC的精確性，以方便做個對照，一般用得比較多的是3點、5點測溫，因PROFILE TC外層保護管是高純石英的，所以一般的耐溫在1280℃，其保固期為一年，熱偶出廠附檢測報告書。