三坐標(biāo)即三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，英文CoordinateMeasuringMachine，縮寫CMM，它是指在三維可測(cè)的空間范圍內(nèi)，能夠根據(jù)測(cè)頭系統(tǒng)返回的點(diǎn)數(shù)據(jù)，通過三坐標(biāo)的軟件系統(tǒng)計(jì)算各類幾何形狀、尺寸等測(cè)量能力的儀器，又稱為三次元、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x。
XYZAX RVF 系列
是一種融合卡爾蔡司公司的控制器與東京精密的硬件的測(cè)量機(jī)
標(biāo)準(zhǔn)配置帶觸摸屏功能的彩色LCD 顯示器，通過AI 功能讓新手也可輕松操作
在Z 軸上標(biāo)準(zhǔn)配置結(jié)束開關(guān)，可手不離開Z軸持續(xù)地進(jìn)行測(cè)量（）
XYZAX mju NEX
是一種搭載混合導(dǎo)軌技術(shù)，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的測(cè)量精度與節(jié)能的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)
備有計(jì)算機(jī)一體化機(jī)型，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)空間節(jié)省
XYZAX SVA NEX 系列
提高了精度保證技術(shù)測(cè)量精度可達(dá)E0, MPE（μｍ） = 1.8 + 4 L/1000 μm（SVA NEX 7/5/5 ～ 9/10/6）
標(biāo)準(zhǔn)配置溫度補(bǔ)償功能，提高耐環(huán)境性
使用多彩的軟件提高測(cè)量數(shù)據(jù)的評(píng)價(jià)功能，通過標(biāo)配的AI 功能，實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的操作
XYZAX FUSION NEX 系列
搭載VAST XT 主動(dòng)掃描測(cè)針
保證測(cè)量精度（MPEE=1.6 ＋ 3L/1000μm）、掃描精度（MPETHP=2.1μm）
即使是日本國(guó)內(nèi)shou次使用在實(shí)際工件上的長(zhǎng)度300mm的測(cè)針也能保證掃描精度
性能特點(diǎn)：
XYZAX SVA Fusion 機(jī)型為廣大用戶帶來世界zhu名的Carl Zeiss掃描技術(shù)
東京精密和Carl Zeiss技術(shù)的融合
XYZAX 機(jī)型與世界wei一的動(dòng)態(tài)掃描技術(shù)相結(jié)合。機(jī)器所使用的Calypso 測(cè)量程序和AI智能識(shí)別功能（東京精密已申請(qǐng)了國(guó)際），使得任何人都能輕松的完成掃描測(cè)量。
VAST測(cè)頭是一款動(dòng)態(tài)掃描的測(cè)頭在保持測(cè)力方向與法線方向（與測(cè)量面垂直）相同的同時(shí)，保證了測(cè)力的恒定，這種功能目前只有通過Carl Zeiss的動(dòng)態(tài)掃描技術(shù)才可以實(shí)現(xiàn)。這被稱為實(shí)時(shí)掃描技術(shù)。
測(cè)量精度與新的JIS規(guī)格相對(duì)應(yīng)(JIS B 7440-2 2003)。測(cè)量精度可以保證在MPEE=1.9+4L/1000μm。 實(shí)測(cè)值參照下面的數(shù)據(jù)。確保掃描精度為MPETHP=2.8μm。 多種測(cè)量配件可以滿足客戶提出的特殊需求，在標(biāo)準(zhǔn)配置的測(cè)針上增加300mm的測(cè)量延長(zhǎng)桿，仍能保證MPETHP=5.8μm的精度。
XYZAX SVA-A 機(jī)型
與ZEISS技術(shù)相結(jié)合的新型CNC 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。
空間精度補(bǔ)償技術(shù)da大的提高了測(cè)量精度。AI智能識(shí)別系統(tǒng)、溫度補(bǔ)償可根據(jù)環(huán)境溫度進(jìn)行精度修正。使機(jī)器具有更強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)性。
該CNC機(jī)型為Carl Zeiss公司控制技術(shù)與東京精密公司硬件技術(shù)的結(jié)合
Carl Zeiss公司的控制系統(tǒng)，有效的縮短了測(cè)量的時(shí)間。使機(jī)器的測(cè)量時(shí)間縮短了30%（與本社機(jī)器之前測(cè)量速度相比）。
AI功能可以智能識(shí)別測(cè)量形狀。da大簡(jiǎn)化了操作者輸入的工作量，使初學(xué)者也能方便的操作。
標(biāo)準(zhǔn)配備的溫度補(bǔ)償，讓機(jī)器在16~26℃仍能正常測(cè)定，可有效的減少空調(diào)的使用量。
XYZAX RVF-A AI智能識(shí)別結(jié)合了簡(jiǎn)單操作的機(jī)型。
該機(jī)器結(jié)合了Carl Zeiss公司控制技術(shù)與東京精密公司硬件技術(shù)，標(biāo)準(zhǔn)配備了可觸摸LCD顯示器，使初學(xué)者也能進(jìn)行簡(jiǎn)單的操作
標(biāo)準(zhǔn)配備帶有觸摸功能的LCD顯示器，方便了操作者的測(cè)量。
利用了帶有彈簧的高剛性臺(tái)面，從兩側(cè)進(jìn)行導(dǎo)向。（已取得）
X和Z軸導(dǎo)軌，采用了長(zhǎng)時(shí)間測(cè)量仍不易變形的輕質(zhì)合金材料。
X、Y、Z軸都裝有微調(diào)需旋鈕，使用者可以控制各軸的微小移動(dòng)。
Z軸配有確認(rèn)按鈕，使測(cè)量者可以雙手不離開Z軸持續(xù)測(cè)量。（申請(qǐng)中）
