校準測量儀 ULM 520 S-E

外測量的測量范圍 [mm] 0 至 520

內測量的測量范圍 [mm] 0.5 至 365

優(yōu)點:

通用長度測量儀器，直接測量范圍覆蓋整個設備長度。比較儀配備水平基床（高度同質、堅硬花崗石）

X 軸測量系統(tǒng)：增量式高精度 Heidenhain 長度測量系統(tǒng)，測量元件長 100 mm

基床中載物臺左和右側的整個基床長度上的 Heidenhain 增量入射光測量系統(tǒng)

Z 軸測量系統(tǒng)：RENISHAW 增量，精密長度測量系統(tǒng)，長度 80 mm