典型樣品 典型應(yīng)用
| 任務(wù) | 蔡司 Sigma 系列的性能優(yōu)勢 |
| 材料研究 | 新型納米材料的高分辨率成像與分析 | Sigma 500 配合不同的探測器對納米材料進行的表征。能夠深入分析各 料和新型材料的形貌結(jié)構(gòu)、詳細成分信息、晶體結(jié)構(gòu)和元素分布。 |
| 涂層和薄膜的分析 | 新型 ETSE 探測器可以在高真空模式下獲取無噴鍍非導(dǎo)電顆粒的深層次表面細節(jié)信 息。 aSTEM 探測器能夠?qū)Ρ∧そY(jié)構(gòu)和納米顆粒進行高分辨率透射電子成像。 HDBSD 探測器可在低電壓下提供清晰的涂層成分信息。 |
| 表征各種形態(tài)的碳材料及其他 2D 材料 | 將高分辨率 SEM 成像和 EDS 元素分析與拉曼顯微成像技術(shù)組合，分析石墨烯層、C60 的性質(zhì)、碳納米管（ CNT）純度和類金剛石鍍膜。表征碳或其他 2D 材料中的缺陷、位錯和應(yīng)力信息。 |
| 聚合物材料的成像與分析 | 使用 SEM 和拉曼關(guān)聯(lián)顯微鏡技術(shù)區(qū)分不同類型的聚合物。分析纖維和聚合物中的應(yīng)力。利用高襯度圖像和拉曼光譜圖像測定聚合物的結(jié)晶度。 |
| 研究電池的老化效應(yīng)并改進電學(xué)性能 | 結(jié)合 SEM 高分辨率成像與 EDS 元素分析對電池的陰極材料進行研究， 并利用 Raman 光譜成像對陽極材料進行分析。獲取有關(guān)碳陽極、聚合物隔膜、金屬氧化物和電解質(zhì)的全 面信息。確保不能暴露在空氣中的樣品始終放置在 SEM 真空樣品室內(nèi)。 |
| 生命科學(xué) | 冷凍生物樣品的高分辨率成像和高性能分析 | 使用 aSTEM 探測器對細胞超微結(jié)構(gòu)成像。 C2D 探測器可為電子束敏感型精細生物樣品提供清晰的圖像。 |
| 生物材料的研究，牙齒、骨骼等生物材料及含膠原蛋白的生物聚合物， 如頭發(fā) | 通過的 VP 模式或使用低電壓方法，研究無鍍膜不導(dǎo)電生物材料。拉曼成像技術(shù)可對各種生物材料進行表征分析，如貝殼、珍珠、骨骼和牙齒結(jié)構(gòu)，或指甲和頭發(fā)等生物聚合物。 |
地質(zhì)學(xué) 礦物學(xué) | 材料和巖石的全面分析 將高分辨率 | SEM 圖像和 EDS 元素分析與拉曼光譜成像組合來識別多晶型礦物。表征巖段中顆粒度和相分布，區(qū)分有機和無機材料。 |
| 自然資源 | 快速準確地檢測巖芯礦物樣品 | Sigma 能夠在可變氣壓模式下對非導(dǎo)電地質(zhì)樣品進行成像和高速分析。 |
| 使用 HDBSD 探測器可得到頁巖和礦物的高清成分數(shù)據(jù)。兩個相對放置的 EDS 探測器能以 2 倍的速度探測成分相關(guān)的 X 射線數(shù)據(jù)。 |
| 為公共實驗室提供高通量解決方案 | 得益于樣品室的幾何設(shè)計，一次可同時容納 16 個樣品。 |
| 用于物相區(qū)分的關(guān)聯(lián)分類 | 使用拉曼光譜關(guān)聯(lián)化學(xué)分析結(jié)果來辨別多晶體。 |
| 工業(yè)應(yīng)用 | 材料和制造組件的失效分析 | Inlens 二次電子探測器可以輕松獲取失效的工程微結(jié)構(gòu)和微電子機械系統(tǒng)裝置的高分辨率形貌信息。 |
| 使用 HDBSD 探測器進行精加工組件的 3D 表面測量。高襯度 HDBSD 成像能夠讓您分析和確定引起斷裂與缺陷的原因。 |
| 鋼和金屬的成像與分析 | 即使是大體積樣品也能夠使用笛卡爾樣品臺進行分析。借助原位等離子清洗技術(shù)保持高質(zhì)量圖像，并使用 AsB 獲取晶體和通道襯度。HDBSD 讓非金屬夾雜物辨識更簡單。 |
| 檢驗科研 | Sigma 系列能用于檢查支架和外科模膏的結(jié)構(gòu)與涂層。在可變壓力模式下，新型 C2D 探測器可以完成涂層瑕疵的低噪聲高清晰度成像。 |
| 在過程控制和診斷中表征半導(dǎo)體和電子設(shè)備 | Sigma 500 的大型樣品交換室能夠快速裝載 5 英寸晶圓。使用 Inlens Duo 探測器獲取 多層器件的高倍成分與形貌圖像。 |
| 在高真空模式下，使用性能增強的新型ETSE探測器在低電壓下獲取半導(dǎo)體設(shè)備的詳細信息。 |
| 對半導(dǎo)體材料和器件進行 Raman 表征 | 使用SEM與共聚焦拉曼成像關(guān)聯(lián)，以高分辨檢測應(yīng)力、應(yīng)變和晶體結(jié)構(gòu)類型或取向并辨別缺陷。 |
