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697 氬離子拋光儀 Ilion II

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氬離子拋光儀Ilion™ II 是一款桌面型設備,用于制備截面樣品,同時利用寬束氬離子對樣品進行平面拋光,以便樣品在 SEM及其它設備上進行檢測分析。 Ilion II可對不同種類的材料進行拋光,包括復合材料,以及具有不同的機械硬度、尺寸和物理特性的合金。 Ilion II 配有 Gatan 的 WhisperLok®樣品交換系統(tǒng),可選配可控溫液氮冷卻臺。

詳細信息 在線詢價

性能優(yōu)勢
  • WhisperLok 系統(tǒng): 無需破壞主腔室真空,樣品交換時間小于1 分鐘。

  • 低能聚焦潘寧離子槍:降低表面損傷,改善 EBSD 及 CL 等低能拋 光技術下的實驗成果 。

  • 能量0.1 到 8.0 kV 可調: 低能區(qū)減少非晶層,高能區(qū)大幅提高 制樣速度 。

  • 液氮冷臺:消除熱效應所產(chǎn)生的樣品損傷 。

  • 10 英寸彩色觸摸屏控制: 通過圖形用戶界面 (GUI) ,快速簡便地 訪問所有的控制參數(shù) 。

  • 數(shù)碼變焦顯微鏡:實時觀察拋光過程 。

  • DigitalMicrograph 軟件彩照存儲: 能夠將存儲的光學圖像以相 同的格式與 SEM 數(shù)據(jù)一起使用。

技術規(guī)格
Ilion II 系統(tǒng)
離子源
離子槍兩個配有稀土磁鐵的潘寧離子槍
拋光角度 (°)+10 到-10°,每支離子槍可獨立調節(jié)
離子束能量 (kV)0.1 – 8.0
離子束流密度(A/cm2)10
拋光速率 (µm/h) 8.0 kV 條件下300(對于硅試樣)
離子束直徑可用氣體流量計或放電電壓來調節(jié)
離子束直徑可用氣流控制器或放電電壓來調節(jié)立調節(jié)
樣品臺真空系統(tǒng)
樣品大小(長 x 寬 x 高, mm)10 x 10 x 4
樣品裝載Ilion 的樣品擋板
轉速 (rpm)0.5 – 6.0
束流調制角度范圍可調的單束調制或雙束調制,
樣品觀察或者不調制
真空系統(tǒng)
干泵系統(tǒng)兩級隔膜泵支持 80 升/秒的渦輪分子泵
壓力 (torr)
基本壓5 x 10-6
工作壓8 x 10-5
真空規(guī)冷陰極型,用于主樣品室;固體型,用前級機械泵
樣品氣鎖WhisperLok技術,樣品交換時間小于1 分鐘
用戶界面
10 英寸彩色觸摸屏操作簡單,且能夠控制所有參數(shù)和配方式操作
尺寸及使用要求
外形尺寸 (L x W x H, mm)575 x 495 x 615
運輸重量(kg)45
功耗 (W)
運行中200
待機中100
電源要求通用 100 – 240 VAC,50/60 Hz(用戶電壓和頻率)
氬氣(psi)25



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