精準(zhǔn)易用

易于使用

Sensofar 致力于為客戶提供令人難以置信的體驗(yàn)。隨著第五代 S neox 系統(tǒng)的誕生，我們的目標(biāo)是使其易于使用、直觀且更快速。即使是初學(xué)者，只需點(diǎn)擊一下，即可操作測量。模塊化設(shè)計(jì)的軟件，使系統(tǒng)適應(yīng)用戶多樣的需求。

的速度

通過采用新的智能和的算法以及新型相機(jī)，達(dá)到的速度。數(shù)據(jù)采集速度達(dá)180fps。標(biāo)準(zhǔn)測量采集速度比以前快5倍。S neox 成為市場上速度的表面測量系統(tǒng)。

功能靈活多樣

 質(zhì)量管理
豐富的自動(dòng)化模塊，方便進(jìn)行質(zhì)量管控。從操作員訪問權(quán)限控制、測量程序存儲(chǔ)、兼容性到條形碼/QR 讀取器，以及我們專有 SensoPRO 軟件中的定制插件，都可以自動(dòng)生成分析報(bào)告。我們的優(yōu)化解決方案能夠在 QC 環(huán)境中工作，其具有靈活性和易于使用的界面，可編程并24小時(shí)工作。
研發(fā)

Sensofar 的四合一方法—只需點(diǎn)擊一 次， 系統(tǒng)即可切換到適合當(dāng)前測量任務(wù)的技術(shù)。在 S neox 傳感器頭中配置 三種測量技術(shù)—共聚焦、干涉、Ai 多焦 面疊加和膜厚測量這些都為系統(tǒng)的多功 能性做出了重要貢獻(xiàn)，并有助于限度地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點(diǎn)。S neox 是 所有實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的理想之選,適用范圍廣泛。

表面紋理特征
SO 25178標(biāo)準(zhǔn)是國際標(biāo)準(zhǔn)化組織面向3D面層表面紋理分析的相關(guān)國際標(biāo)準(zhǔn)。這是 3D 表面紋理規(guī)范和測量中，國際標(biāo)準(zhǔn)，特別是定義了 3D 表面紋理參數(shù)及相關(guān)規(guī)范運(yùn)算符。根據(jù) ISO25178 和 ISO4287 計(jì)算表面參數(shù)。計(jì)算高度、空間、混合、功能和體積參數(shù)。自 2009 年以來，Sensofar一直是國際標(biāo)準(zhǔn)化組織 (ISO/TC213 WG16) 技術(shù)委員會(huì)的成員。

四合一技術(shù)

Ai 多焦面疊加

主動(dòng)照明多焦面疊加是一種為了測量大粗糙表面形狀而開發(fā)的光學(xué)技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識(shí)，專門設(shè)計(jì)用于補(bǔ)充低放大率下的測量。通過使用主動(dòng)照明，即使在光學(xué)平滑的表面上也能獲得更可靠的測量數(shù)據(jù)，這一點(diǎn)已經(jīng)得到了改進(jìn)。該技術(shù)的亮點(diǎn)包括高斜率表(高達(dá) 86o),的速度(3 mm/s）和較大的垂直范圍測量。

共聚焦

共聚焦輪廓儀的開發(fā)目的是，測量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦輪廓提供的橫向分辨率，可達(dá) 0.15μm 水平分辨率，空間采樣可減少到 0.01μm，這是關(guān)鍵尺寸測量的理想選擇。高達(dá)NA (0.95) 和放大倍率(150X) 的物鏡可用于測量局部斜率超過 70°的光滑表面。對(duì)于粗糙表面，可允許 86°。的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復(fù)性。

干涉
PSI 相移干涉法 可以用于測量亞埃分辨率的高度光滑和連續(xù)表面的高度?？梢允褂脴O低的放大率 (2.5X) 測量具有相同高度分辨率的大視場。
CSI 相干掃描干涉法使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，達(dá)到 1 nm 的高度分辨率。
薄膜

薄膜測量技術(shù)快速、準(zhǔn)確、無損地測量光學(xué)透明層的厚度，且不需要樣品制備。該系統(tǒng)獲取可見光范圍內(nèi)樣品的反射光譜，并與軟件計(jì)算的模擬光譜進(jìn)行比較，對(duì)層厚進(jìn)行修改，直到找到擬合。可以在不到一秒鐘的時(shí)間內(nèi)測量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。測量光斑取決于物鏡放大率，最小可低至 0.5μm，可達(dá) 40μm。

 

不同的功能體驗(yàn)

連續(xù)共聚焦

共聚焦測量技術(shù)將采集時(shí)間穩(wěn)步減少 3 倍。連續(xù)共聚焦模式通過同時(shí)掃描面內(nèi)和 Z 軸，避免了經(jīng)典共聚焦的離散（耗時(shí)）面與面采集。對(duì)于減少大面積掃描和大 Z 掃描的采集時(shí)間至關(guān)重要。

HDR
高動(dòng)態(tài)范圍減少高反射表面上的反射和脫落點(diǎn)。

智能噪音檢測
S neox 使用檢測算法(SND) 檢測那些不可靠的數(shù)據(jù)像素。與使用空間平均的其他技術(shù)相比， S neox 在不損失橫向分辨率的情況下逐像素處理。

LED光源的優(yōu)勢
用LED做照明光源要比用激光更有優(yōu)勢。首先LED光源可以避免發(fā)生激光光源的散斑現(xiàn)象。其次LED光源的使用壽命約50000小時(shí)（約25倍于激光）。最重要的是多個(gè)LED就意味著可以根據(jù)樣品的需求選擇的波長來測量。

多波長LED光源
SNEOX內(nèi)置4顆LED光源：紅(630nm), 綠(530nm), 藍(lán)（460nm)和白光。短波長的光可以滿足需要更高水平分辨率的應(yīng)用。而長波長的光可以提供更好的光學(xué)相干性，可達(dá)20um, 使相差干涉可以掃描光滑表面上的大區(qū)域。此外，紅、綠和藍(lán)光的交替照明還能提升色彩的真實(shí)性和還原性。

出色的橫向和縱向分辨率

DIC 觀察

微分干涉 (DIC) 用于強(qiáng)調(diào)在正常觀察中沒有對(duì)比度的非常小的高度特征。通過使用 Nomarski 棱鏡，產(chǎn)生了干涉圖像，解決了在明視場或共聚焦圖像中不可見的亞納米級(jí)結(jié)構(gòu)。

高分辨率
垂直分辨率受到儀器噪聲的限制，儀器噪聲對(duì)于干涉測量是固定的，但共聚焦測量依賴的數(shù)值孔徑。Sensofar 專有算法以光學(xué)儀器的橫向分辨率為測量技術(shù)提供納米級(jí)系統(tǒng)噪聲。所示的形貌是亞納米 (0.3 nm) 原子層。由 PTB 提供。

高坡度

顯微鏡物鏡的數(shù)值孔徑 (NA) 限制了光學(xué)平滑表面上的可測斜率，而光學(xué)粗糙表面或散射表面提供的信號(hào)超出了該限制。Sensofar算法設(shè)計(jì)在光滑表面上測量達(dá) 71o(0.95 NA)，在粗糙樣品上測量高達(dá) 86°。

應(yīng)用案例

•  *制造業(yè)
•  航空航天與汽車行業(yè) 
•  考古學(xué)與古生物學(xué)
•  消費(fèi)類電子產(chǎn)品
•  國防與安全
•  醫(yī)療產(chǎn)品
•  光學(xué)器材
•  精密加工