電路板的X射線面分布圖，（Cu, Br, Ti, Ca, Fe, Sn, Ni, Zn）
介紹：
IXRF專注于精確地微區(qū)痕量元素分析產(chǎn)品，包括齊全的能譜儀（EDS）和X射線熒光（XRF）。
在硬件方面，作為一款臺式XRF，Atlas-M型號的體積為890×560×560mm，具有較大的樣品倉體積，相對應(yīng)的是較大的樣品臺行程以及最重的載重量，而與此同時，卻可以將樣品臺的移動速度提升到300mm/s，移動精度≤1μm。
其采用的毛細管聚焦技術(shù)，可將束斑縮至5μm，另外也可通過選用準直器等配件，使束斑在5μm—1000μm之間的范圍內(nèi)可調(diào)；其多大8片的濾波片選擇，可滿足更多的分析需求。
在軟件方面，作為曾因其軟件研發(fā)能力而獲得英國政府頒發(fā)的千禧年大獎的公司，IXRF在Atlas操作軟件的開發(fā)上沿襲了其一貫的專業(yè)性及開放性。
在數(shù)據(jù)的獲取及處理上，可實現(xiàn)數(shù)據(jù)的一鍵采集，或自動或手動的鑒別樣品成分，并利用FP建?；騫uantitative match等功能實現(xiàn)樣品成分的定量分析；在圖像處理方面，不僅可對獲取的圖像進行拼接，還可實現(xiàn)相分析、特征顆粒篩選、特征顆粒形態(tài)學(xué)上的測量及成分分析等功能；在面分布及線掃描方面，可同時獲得多達35種元素的信息，并且實現(xiàn)單像素的譜圖數(shù)據(jù)采集，并可保存下來，后續(xù)仍可繼續(xù)對此數(shù)據(jù)進行點線面等處理。
在應(yīng)用方面，可在各種環(huán)境，如大氣、真空以及氦氣等氣氛下分析多種類的樣品，無論是固體、液體、顆粒、粉末，樣品大小，拋光與否，表面粗糙與否皆可輕松勝任，且實現(xiàn)無損分析。
鑒于Atlas的突出的性能特點，其被廣泛的應(yīng)用到地礦文博、電子器件、環(huán)境監(jiān)測、刑偵醫(yī)學(xué)、醫(yī)藥檢測等方面。
| 樣品類型 | 固、液、顆粒、粉末 |
| 測試介質(zhì) | 空氣、真空、氦氣 |
| 激發(fā)源 | 12-50W, 0-50kV, 200 μA-1mA |
| 激發(fā)源參數(shù)： 靶材 束班尺寸 濾片 | 多毛細管或準直器 銠（其他可選） 5μm-1000μm連續(xù)可調(diào) 8片 |
| 探測器 分辨率 活區(qū)面積 | SDD 135-145ev 50-150mm2 |
| 樣品臺 | X、Y、Z三軸可動 320X320mm可移動范圍 載重10Kg |
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Mapping尺寸 樣品移動速度 |
220X200mm 300mm/s |
| 元素分析范圍 | Na-U |
特點：
1、 束斑尺寸最小可達5μm；
2、 大樣品臺行程（320×320×120mm），移動速度可達300mm/s；
3、 多達8片的濾波片選擇；
應(yīng)用領(lǐng)域：
1、 地礦文博；
2、 電子器件；
3、 刑偵醫(yī)學(xué)；
4、 醫(yī)藥檢測；
5、 環(huán)境監(jiān)測。
