共聚焦三維測量顯微鏡采用的位移矯正和邊緣識別，邊緣修正技術，可以消除圖像邊緣鋸齒狀。是低倍（光學amp;lt;2000X.視頻amp;lt;10000x）情況下電鏡的理想替代。遠遠超出常規(guī)平面檢測（包括電鏡）的范圍。將光學顯微鏡的使用提升到新的高度。是顯微技術的發(fā)展。

共聚焦三維測量顯微鏡

系統(tǒng)輕松解決以上不足，突破顯微鏡的光學 固有限制?？梢栽?0秒之內得到樣品的三維立體圖像?？梢暂p松的對樣品不同高度進行優(yōu)質成 像，得到平面優(yōu)質圖片，繼而構建3D模型，并通過智能測量模式，準確測量三維空間尺寸。在得到優(yōu)質平面圖像/3D圖像的同時，本系統(tǒng)還提供共焦點云的全自由度模型三維觀察使得用戶能夠從任意角度觀察樣品，系統(tǒng)通過一體化的設計，可以實現高速自動顯微鏡3D觀察、測量。

共聚焦三維測量顯微鏡要求

光源是數碼成像的基礎之一，正確匹配的照明模式是展現樣品細節(jié)的必需條件，系統(tǒng)所采用的照明裝置，均為機器視覺系統(tǒng)所用光源。具有光譜范圍廣，色彩真實，形態(tài)多樣，長壽命（大于3萬小時），根據不同用途，有多種結構設計，能組建復式照明技術，配合數字消光技術（HDR)，能展現樣品細節(jié)。

高精度壓電位移平臺實現納米級運動：

全新的壓電位移平臺可實現納米級高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級快響應速度、簡便的控制方式、通過超薄的設計，減輕了整體重量，在運動中具有準確性，與光譜共焦技術實現結合，可實行大范圍精準掃描，得到計量級結果

光譜共焦技術具有泛的材質適應性、穩(wěn)定性、檢測效率：

基于白光色散技術的光譜共聚焦鏡頭，具有廣泛的測量適應性，除常規(guī)材料之外，即使在光滑的玻璃表面、研磨后的鏡面材料，透明膠水層、薄膜材料均能實現有效的測量，其Z向分辨率可達到10nm以下，配合高精度的壓電位移臺，能對樣品實現大面積準確輪廓測量。得到的輪廓模型更可與光學景深圖像融合，最終得到計量級的彩色3D模型。

技術參數