產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×00mm，承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置：不需要

主要特點(diǎn)

1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。

2、通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得鍍膜效果。

3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

5、根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

6、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、靶：Ø45mm

2、真空室：Ø160mm×120mm

3、真空度：≤4×10^-2mbar

4、靶位：3個(gè)

5、電流：50mA

6、可設(shè)定最長(zhǎng)時(shí)間：900s

7、微型真空氣閥：連接Ø3mm軟管

8、電壓：1600V  DC

9、機(jī)械泵：2L/s

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

金靶材

1個(gè)

2

銅靶材

1個(gè)

3

鋁靶材

1個(gè)

4

進(jìn)氣針閥

1個(gè)

5

保險(xiǎn)絲

2個(gè)

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材