在線方塊電阻測(cè)試儀
EddyCus TF inline在線方塊電阻測(cè)試儀可以測(cè)量薄層的性能，如金屬層厚度，薄層電阻，輻射系數(shù)，殘余水分或在各種基材上的非接觸克重。相關(guān)基材有玻璃、箔、紙、晶圓片、塑料或陶瓷。通過(guò)常駐測(cè)量或觸發(fā)事件進(jìn)行監(jiān)測(cè)，以在快速移動(dòng)的涂層過(guò)程中獲得等距離的結(jié)果。檢測(cè)解決方案可以在大氣或真空條件下實(shí)施?；陔姕u流技術(shù)的檢測(cè)過(guò)程高采樣率更高?？梢允褂每蛻舻能浖檫^(guò)程控制系統(tǒng)提供測(cè)量結(jié)果。此外，SURAGUS還提供監(jiān)控軟件EddyCus EC Control，可視化、存儲(chǔ)和分析計(jì)量數(shù)據(jù)。
在線方塊電阻測(cè)試儀產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
非接觸式實(shí)時(shí)測(cè)量
高測(cè)量速度高達(dá)1000次/秒。
傳感器固定安裝或傳感器橫貫安裝
每個(gè)系統(tǒng)集成1 - 99個(gè)監(jiān)控通道
在大氣或真空的過(guò)程控制
在許多應(yīng)用中，非常接近襯底邊緣的測(cè)量是可能的
在變化的環(huán)境中通過(guò)溫度補(bǔ)償測(cè)量的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
與測(cè)試材料之間的距離較大(例如60毫米/ 2.4英寸的間隙)
覆蓋導(dǎo)電層或封裝襯底的表征
眾多軟件集成分析
在線方塊電阻測(cè)試儀測(cè)量?jī)?nèi)容及范圍：
薄層電阻: 0.1 mOhm/sq up to 1 kOhm/sq
金屬厚度: 2 nm – 2 mm (根據(jù)材料電導(dǎo)率)
電阻率: 0.1 mOhm cm – 1 ohm cm
殘余水分(用非接觸式介電常數(shù)測(cè)量濕層)
電各異性: 0.33 to 3 (higher on request)
關(guān)聯(lián)屬性
克重: 0.1 to 1,000 g/sqm
輻射系數(shù): 0.005 to 0.2
EddyCus TF非接觸式方塊電阻在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可在生產(chǎn)過(guò)程中直接對(duì)方塊電阻進(jìn)行高速、非接觸式測(cè)量。典型的工藝包括PVD, CVD，在晶圓，箔，紙，聚合物或其他基板上的電沉積或常規(guī)沉積工藝。特別是這些工藝包括濺射、蒸發(fā)、外延或電鍍工藝。此外，這也涉及噴涂，槽模涂層或電子印刷過(guò)程。此外，片狀電阻增強(qiáng)過(guò)程，如薄膜的退火和摻雜或印刷電子產(chǎn)品的燒結(jié)，受益于電氣完整性的在線監(jiān)測(cè)。氧化、蝕刻、拋光以及清洗和干燥過(guò)程的影響也是這種測(cè)試技術(shù)廣泛應(yīng)用范圍的一部分。薄片電阻值通常轉(zhuǎn)移到MES系統(tǒng)，以保證質(zhì)量，特別是過(guò)程控制。
在線方塊電阻測(cè)試儀規(guī)格指標(biāo)：
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