◆  負(fù)片圖案設(shè)計(jì)

◆  基底為10x10mm2，設(shè)計(jì)緊湊，尺寸穩(wěn)定性良好

◆  采用高精度電子束光刻技術(shù)制作

◆  結(jié)構(gòu)尺寸低至100nm 

◆  分辨率可達(dá)到3300 lp/mm

                       標(biāo)準(zhǔn)載玻片靶 TC-RT01   ——   7.5-3300 lp/mm+4.0-0.25um Pinholes

通過高分辨率的RT01，可以非常輕松、快速地在傳輸光下確定目標(biāo)的分辨率限制。水平和垂直對齊共有 59 條線型，涵蓋了精度從每毫米 7.5條線對 到 3300 條線對。

       同時結(jié)構(gòu)的簡單排列和測試結(jié)構(gòu)尺寸的直接讀取確保了直觀的處理。此外，還有5個直徑在4.0-0.25 um之間的針孔，可以實(shí)現(xiàn)微成像光學(xué)元件的詳細(xì)表征

       該標(biāo)準(zhǔn)尺由 5 顆西門子星組成， 其特點(diǎn)是星中心的錐形部分制造的寬度低至為 150nm。該測試目標(biāo)板非常適合于確定具有非常高數(shù)值光圈的顯微鏡物鏡的分辨率

        高分辨率顯微鏡檢查板的特點(diǎn)內(nèi)部每個正方形均為 50 x 50 平方微米，整體尺寸為 9.0 x 9.0 平方毫米。該靶片非常適合于測試圖像偏斜和曲率，以及確定由于直線和銳邊導(dǎo)致的圖像質(zhì)量。

      該標(biāo)準(zhǔn)尺上提供了直徑0.18um到4um的針孔。相同階梯式針孔間具有足夠的暗區(qū)，使待測透鏡的整個視場變暗。該標(biāo)準(zhǔn)尺特別適用于顯微鏡透鏡的星形測試和光學(xué)顯影