便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310
上海伯東銷售維修德國(guó) Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 設(shè)計(jì)緊湊, 重量?jī)H 21kg, 占用空間小, 前級(jí)泵清潔無油, 通用電壓, 滿足無任何污染工藝要求. 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 是目前市場(chǎng)上同類型檢漏儀中輕便緊湊的產(chǎn)品!
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 特性：
1. 集成無油真空系統(tǒng): 隔膜泵 MVP 020 1.7 m3/h 粗抽能力 + ATH 系列渦輪分子泵
2. 支持真空或吸槍檢漏模式, 重量?jī)H 21 Kg
3. 氦氣抽速 1.1l/s, 進(jìn)氣口壓力 15 hPa
4. 豐富的可選配件: 吸槍, 遙控器, 小推車, 標(biāo)準(zhǔn)漏孔等, 兼容 RC 10 遙控器
5. 帶有可伸縮手柄的靈巧設(shè)計(jì)
6. 可以在任何位置操作: 水平或垂直, 較低的維護(hù)
7. USB 接口, 方便數(shù)據(jù)傳輸,
8. 帶有圖像功能的大屏幕高亮度彩色觸摸屏, 10種語言可選
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 技術(shù)參數(shù)：
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 | ASM 310 |
對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率 | 真空模式 5E-13 Pa m3/s
吸槍模式 1E-8 Pa m3/s |
檢測(cè)模式 | 真空模式和吸槍模式
檢漏方法 >> |
無油前級(jí)泵抽速 | 1.7m3/h |
檢測(cè)氣體 | 4He , 3He, H2 |
響應(yīng)時(shí)間 | <1s |
對(duì)氦氣的抽氣速度 | 1.1 l/s |
進(jìn)氣法蘭 | DN 25 ISO-KF |
進(jìn)氣口zui大壓力 | 15 hPa |
通訊接口 | RS-232 |
工作溫度 | 10-40 °C |
噪音水平 | < 45 dB (A) |
Interface | RS-232, I/O, USB |
電壓 | 90-240 V AC, 50/60 Hz, 通用電壓 |
zui大功耗 | 300 VA |
啟動(dòng)時(shí)間 | < 2 min |
尺寸 | 350 X 254 X 415 mm |
重量 | 21 kg |
便攜式檢漏儀 ASM 310 耐大氣沖擊視頻:
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 尺寸：
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 常用配件:
Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 應(yīng)用：
1. 半導(dǎo)體, 鍍膜, 太陽能
2. 分析儀器, 科研, 加速器質(zhì)譜
3. 工業(yè), 電廠, 化工
4. 系統(tǒng)集成
上海伯東檢漏儀客戶案例
光刻機(jī)檢漏
半導(dǎo)體用光刻機(jī)檢漏, 整機(jī)真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空. 采用負(fù)壓法檢漏. 漏率設(shè)置 5x10-11pa m3/s. |
杜瓦封裝檢漏
內(nèi)部集成紅外探測(cè)器的 2m3 杜瓦封裝器件, 應(yīng)用于火星探測(cè)項(xiàng)目, 杜瓦封裝器件采用真空模式檢漏, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s. |
超高真空系統(tǒng)檢漏
超高真空真空度一般 < E-7 mbar, 為保證較高的真空度, 需要對(duì)整個(gè)真空系統(tǒng)的焊縫, 法蘭口等懷疑有漏的地方進(jìn)行泄漏檢測(cè). 為保證實(shí)驗(yàn)腔體的清潔干燥, 選擇前級(jí)泵為干泵的氦質(zhì)譜檢漏儀 |
