FlexScribe Station 晶圓劃片機(jī)是一種通過在頂部劃線來縮小晶圓和樣品尺寸的超快速、簡(jiǎn)單的方法。它使用安裝在滑動(dòng)劃線機(jī)構(gòu)上的硬質(zhì)合金劃線輪，始終進(jìn)行直線劃線。

FlexScribe Station 晶圓劃片機(jī)

FlexScribe Station 晶圓劃片機(jī)是一種通過在頂部劃線來縮小晶圓和樣品尺寸的超快速、簡(jiǎn)單的方法。它使用安裝在滑動(dòng)劃線機(jī)構(gòu)上的硬質(zhì)合金劃線輪，始終進(jìn)行直線劃線。該系統(tǒng)用于對(duì)各種材料進(jìn)行劃線，不受形狀限制，包括載玻片、蓋玻片、硅、III-V、藍(lán)寶石和其他晶體和脆性材料。它可以處理小至 5 毫米至 300 毫米的小的晶圓樣品。

安裝在 FlexScribe 上的標(biāo)準(zhǔn)碳化鎢刀具適合切割各種樣品，包括硅、玻璃、GaAs 和其他晶體材料。LatticeGear 推：

• PCD-ND120金剛石刀具，適用于薄的玻璃、鋼化玻璃和藍(lán)寶石等硬質(zhì)材料

• TC-ND153用于在 45 度下切割100 硅和厚玻璃的應(yīng)用

優(yōu)勢(shì)

• 劃線度 ±200 μm（可實(shí)現(xiàn)）

• 靈活的樣本大小和形狀

• 能夠?qū)φ澈系木w和非晶晶片和芯片進(jìn)行劃線，以進(jìn)行后續(xù)切割

• 無需維護(hù)

特征

• 劃線的長(zhǎng)度可以從 1 毫米到 100 毫米不等

• 用戶可更換墨盒中的預(yù)對(duì)準(zhǔn)金剛石劃片；高度和角度可調(diào)

• 嵌入平臺(tái)的標(biāo)尺可實(shí)現(xiàn)確且可重復(fù)的樣品對(duì)齊和尺寸調(diào)整

• 該工具是純機(jī)械的；無需電源