二氯硅烷易燃，其蒸氣能與空氣形成范圍廣闊的爆炸性混合物。遇熱源和明火有燃燒爆炸的危險(xiǎn)。與鹵素及其它氧化劑劇烈反應(yīng)。遇水或水蒸氣劇烈反應(yīng)，生成鹽酸煙霧。
儲(chǔ)存注意事項(xiàng)[20] 儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的有毒氣體專用庫房。庫溫不宜超過30℃。遠(yuǎn)離火種、熱源。包裝必須密封，切勿受潮。應(yīng)與氧化劑、堿類、醇類、食用化學(xué)品分開存放，切忌混儲(chǔ)。采用防爆型照明、通風(fēng)設(shè)施。禁止使用易產(chǎn)生火花的機(jī)械設(shè)備和工具。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄露應(yīng)急處理設(shè)備。
主要用途
用于制造半導(dǎo)體，尤其是在外延法工藝中作為硅源。二氯二氫硅主要用于多晶硅外延生長以及化學(xué)氣相沉積二氧化硅和氮化硅。它的硅含量比三氯氫硅和四氯化硅高，二氯二氫硅沉積硅更有效，且淀積溫度比其他氯硅烷低。采用二氯二氫硅在降低溫度下沉積厚層所需時(shí)間大大低于采用硅烷所需時(shí)間。由于二氯二氫硅的沉積速率與采用其他氯硅烷相比對溫度敏感性小，因此可以采用調(diào)節(jié)氫氣流中二氯二氫硅濃度的方法來控制沉積速率，而且不會(huì)出現(xiàn)鼓泡所帶來的不準(zhǔn)確性和機(jī)械問題。2.用于甲硅烷基化劑，及合成硅的有機(jī)化合物。
一、高精度便攜泵吸二氯硅烷檢測儀產(chǎn)品簡介
是深國安電子運(yùn)用十多年二氯硅烷氣體探測器生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，聘請?jiān)O(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)，獨(dú)立自主研發(fā)生產(chǎn)的一款單手可握、方便移動(dòng)的智能型二氯硅烷氣體檢測儀表；是搭載智能光感控制，集氣體、溫度、濕度、時(shí)間、吸氣泵、報(bào)警、記錄、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)為一體的多功能二氯硅烷氣體檢測報(bào)警裝置，并取得國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局頒發(fā)的實(shí)用新型證書；客戶只需一鍵開機(jī)，無需任何化學(xué)試劑，即可實(shí)時(shí)對空氣中的二氯硅烷氣體濃度進(jìn)行檢測；當(dāng)現(xiàn)場被測丙烷氣體達(dá)到預(yù)設(shè)的報(bào)警點(diǎn)時(shí)，會(huì)自動(dòng)發(fā)出聲光報(bào)警。并有溫馨文字提示，10秒鐘即可出檢測結(jié)果；經(jīng)第三方專業(yè)機(jī)構(gòu)計(jì)量檢測，實(shí)測精確度高達(dá)3%以內(nèi)，可與國外的二氯硅烷氣體檢測分析儀相媲美；并取得國家防爆電氣產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)心頒發(fā)的本安型防爆資質(zhì)證書。
二、高精度便攜泵吸二氯硅烷檢測儀產(chǎn)品特點(diǎn)
●支持1000多種可燃、有毒和揮發(fā)性氣體檢測；
●本安型電路設(shè)計(jì)、安全可靠；
●外觀精美、操作方便、測量精準(zhǔn)、堅(jiān)固耐用；
●集光感、氣體、溫度、濕度、時(shí)間、吸氣、報(bào)警、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)為一身，功能強(qiáng)大；
●3.5英寸超高清液晶彩屏，320*240分辨率，呈現(xiàn)各項(xiàng)氣體檢測指標(biāo)；
●24位數(shù)據(jù)采集芯片+32位納米級(jí)微處理器，分辨率更高、反應(yīng)速度更快；
●高強(qiáng)度ABS+PC塑膠外殼，耐酸、耐堿、耐寒、耐熱、耐沖擊、易阻燃；
●國外氣體傳感器，精度高、穩(wěn)定性強(qiáng)、誤差率低、直線性好；
●內(nèi)置德國THOMAS微型真空泵，噪音低、壽命長、氣流穩(wěn)定、持久；
●全量程溫濕度補(bǔ)償和數(shù)據(jù)修正，測量精度可媲美國外氣體檢測儀；
●深國安電路設(shè)計(jì)和智能算法，可捕捉到空氣中PPB級(jí)的氣體濃度變化；
●客戶可根據(jù)需要，自行設(shè)置高、低段報(bào)警值、調(diào)零、泵的速度及聲音的開關(guān)等功能；
●全程記錄儀表使用情況，現(xiàn)場由你掌握：如何時(shí)開關(guān)機(jī)、何時(shí)報(bào)警、何時(shí)發(fā)生過故障等。
●多重保護(hù)：防過載沖擊、防過電壓、防靜電干擾、防磁場干擾；
●智能光感控制：儀器會(huì)在不同強(qiáng)度光照下，自行調(diào)節(jié)屏幕亮度；
●延長探桿，自由伸縮，下天入地；
●2800mA大容量鋰電池，可連續(xù)工作20小時(shí)以上；
●吸氣速度5檔調(diào)控，大小流速自由掌握，超方便；
●光照度10檔調(diào)節(jié)，自動(dòng)識(shí)別使用場景，超智能；
●Micro USB設(shè)計(jì)，兼容所有Android手機(jī)充電器、充電寶；
●雙重?cái)?shù)據(jù)恢復(fù)、安全無憂：智能一鍵復(fù)位+恢復(fù)出廠設(shè)置；
●中文簡體、中文繁體、英文三種語言操作界面，適用于所有人群使用；
●PPM與mg/m3、%VOL量程單位可自由切換，方便數(shù)據(jù)識(shí)別；
●現(xiàn)場濃度達(dá)到報(bào)警點(diǎn)時(shí)，聲光報(bào)警的同時(shí)，操作界面上還會(huì)數(shù)值的顏色變化及文字提示；
●支持100,000條數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、下載、打印、編輯、導(dǎo)出、圖表顯示等；
數(shù)據(jù)保存間隔可在1-600秒之間自由設(shè)置
支持本機(jī)查看保存的所有測量數(shù)值和時(shí)間日期
可通過電腦專用軟件查看圖表、導(dǎo)出數(shù)據(jù)等
●高檔鋁合金外箱，耐壓、防震、防摔，易攜帶；
●防爆等級(jí)：ExibⅡCT6Gb
●防爆證號(hào)：CNEx17.4592
●防護(hù)等級(jí)：IP65
三、應(yīng)用場所
職業(yè)衛(wèi)生、安全巡檢、泄漏源檢測、隧道施工、地下管網(wǎng)檢修、過程控制、廢氣治理、化工廠界、冶煉、鋼鐵、煤炭、熱電、焦化、冶金、煙草、科研院校、樓宇建設(shè)、消防工 程、農(nóng)藥化工、污水處理、畜牧養(yǎng)殖、醫(yī)藥車間、殺菌消毒、熏蒸處理、大氣環(huán)境監(jiān)測、空氣質(zhì)量檢測、航空電子、食品加工、速凍倉庫、造紙業(yè)、船舶業(yè)、涂料粉刷、布料印染等。
