IMP（Ions Milling Probe）離子蝕刻探針－終點檢測儀是自帶差式泵的耐用的二次離子質(zhì)譜儀，*的專業(yè)檢測終點儀器。用于離子蝕刻控制以及優(yōu)化工藝。適用于離子刻蝕過程中的二次離子和中性粒子分析。

離子蝕刻探針－終點檢測儀

應(yīng)用：
· 終點檢測
· 靶的純度測定
· 質(zhì)量控制/SPC
· 殘余氣體分析
離子蝕刻探針－終點檢測儀特點：
· 高靈敏度的SIMS/MS，帶脈沖離子計數(shù)檢測器
· 離子光學(xué)透鏡、能量分析器和離子源
· 真空規(guī)和安全互鎖裝置提供過壓保護
· 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網(wǎng)控制
· 可編程的DDE，平行數(shù)字數(shù)據(jù)I/O，RS232腳本通訊

應(yīng)用：
· 終點檢測
· 靶的純度測定
· 質(zhì)量控制/SPC
· 殘余氣體分析
特點：
· 高靈敏度的SIMS/MS，帶脈沖離子計數(shù)檢測器
· 離子光學(xué)透鏡、能量分析器和離子源
· 真空規(guī)和安全互鎖裝置提供過壓保護
· 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網(wǎng)控制
· 可編程的DDE，平行數(shù)字數(shù)據(jù)I/O，RS232腳本通訊