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Transpector® MPH 殘余氣體分析儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 杭州太昊科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地 杭州市
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2021/5/17 15:23:09
訪問(wèn)次數(shù) 1281

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特價(jià)說(shuō)明：

促銷詳細(xì)：

2020年01月08日至 2020年02月08日

特價(jià)促銷

模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

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Transpector® MPH 殘余氣體分析儀 INFICON 利用在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長(zhǎng)制造的 RGA 具有行業(yè)先的數(shù)據(jù)采集速度，可檢分壓強(qiáng)和信噪比低。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

詳細(xì)信息在線詢價(jià)

Transpector® MPH 殘余氣體分析儀

解放您的過(guò)程

的性能提高良率并使正常運(yùn)行時(shí)間

持續(xù)上升的硅晶圓價(jià)格以及對(duì)成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出較高的代價(jià)。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能，有助于最大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時(shí)間。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時(shí)間長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)，在幫助您贏利方面的作用優(yōu)于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON 利用在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長(zhǎng)制造的 RGA 具有行業(yè)先的數(shù)據(jù)采集速度，可檢分壓強(qiáng)和信噪比低。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

Transpector® MPH 殘余氣體分析儀

功能

最大模擬掃描和選定峰值的數(shù)據(jù)速率為每點(diǎn) 1.8 ms
TCP/IP 以太網(wǎng)連接
雙絲極
可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器
組合陽(yáng)極、陰極和反射極絲極套件
較短的傳感器可降低安裝占地面積
九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
<2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）
信噪比更高
可調(diào)換傳感器和電子元件
傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

Type	MPH100F	MPH100M	MPH200F	MPH200M	MPH300F	MPH300M
傳感器長(zhǎng)度	14.3 cm	19.3 cm	14.3 cm	19.3 cm	14.3 cm	19.3 cm
質(zhì)量范圍	100 amu	100 amu	200 amu	200 amu	300 amu	300 amu
檢測(cè)器類型	FC	FC/EM	FC	FC/EM	FC	FC/EM
靈敏度 (FC)	6E-4 A/Torr	6E-4 A/Torr	5E-4 A/Torr	5E-4 A/Torr	4E-4 A/Torr	4E-4 A/Torr
靈敏度 (EM)	NA	500 A/Torr	NA	500 A/Torr	NA	250 A/Torr
Z小可檢測(cè)分壓 (4)	3E-13 Torr	2E-15 Torr	4E-13 Torr	3E-15 Torr	5E-13 Torr	4E-15 Torr
Z高傳感器工作溫度(FC)	200°C	200°C	200°C	200°C	200°C	200°C
Z高傳感器工作溫度(EM)	NA	150°C	NA	150°C	NA	150°C
絲極類型選件 (1)	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir
絲極類型選件 (2)	Tungsten	Tungsten	Tungsten	Tungsten	Tungsten	Tungsten
分辨率（整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)）	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)
溫度系數(shù)	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C
高每點(diǎn)數(shù)據(jù)率	1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms
零沖擊（@ 質(zhì)量 2）	<5 ppm	<5 ppm	<65 ppm	<65 ppm	<100 ppm	<100 ppm
Z大工作壓力	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr
Z高烘烤溫度	300	300	300	300	300	300
功率輸入	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC