108鍍金鍍碳聯(lián)用儀特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜，同時(shí)又用于掃描電鏡能譜分析。 分類： 電鏡制樣設(shè)備, 鍍膜儀 標(biāo)簽： 離子濺射儀, 鍍碳儀, 鍍膜儀 Brand:Ted Pella

描述

特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜，同時(shí)又用于掃描電鏡能譜分析。

一、主要特性

• 通過(guò)1個(gè)真空泵相連，在既可以保證良好鍍金鍍碳效果的同時(shí)，又不會(huì)產(chǎn)生碳和金屬的任何交叉污染。
• 通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程，避免樣品表面受損。
• 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
• 可使用多種金屬靶材：Pt， Au/Pd，Au，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。
• 通過(guò)使用高分辨膜厚控制儀（選件）測(cè)量所鍍膜厚。
• *的受反饋控制的碳棒蒸發(fā)系統(tǒng)可以在膜厚20nm左右進(jìn)行多次蒸發(fā)，無(wú)須切削或調(diào)整碳棒形狀。
• 使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質(zhì)量的鍍膜效果。
• 使用新型的蒸發(fā)裝置：電流和電壓通過(guò)磁控頭的傳感線監(jiān)控，蒸發(fā)源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發(fā)裝置使常規(guī)的碳棒具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。功率消耗低，碳棒具有優(yōu)異的重新蒸鍍特性。蒸發(fā)源可以通過(guò)脈沖或連續(xù)的方式操作。
• 自動(dòng)模式下，蒸發(fā)源按程序設(shè)定的電壓和時(shí)間進(jìn)行噴鍍。手動(dòng)模式下，*的設(shè)計(jì)允許以脈沖或連續(xù)的方式操作，并通過(guò)旋鈕控制輸出電壓。

二、技術(shù)參數(shù)