PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)通過測(cè)量等離子體反應(yīng)腔的發(fā)射光譜，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體組分和密度、等離子體溫度、電子密度等參數(shù)。由等離子體發(fā)射光譜的強(qiáng)度值可計(jì)算得出等離子組分、顆粒密度及電子密度；由同一電子的能量吸收譜線同另外譜線的對(duì)比可計(jì)算得出電子溫度。測(cè)量輸出結(jié)果，可反饋控制等離子體的發(fā)生，從而獲得優(yōu)質(zhì)的反應(yīng)流程和效果。

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)主要包括：高性能線陣CCD光譜儀、傳輸光纖、接收透鏡、過程監(jiān)控裝置及測(cè)量分析軟件。

PlasCalc應(yīng)用于測(cè)量等離子體鍍膜沉積情況，監(jiān)測(cè)等離子濁刻，檢查表面清潔處理，分析等離子反應(yīng)腔控制情況，監(jiān)測(cè)異常污染排放現(xiàn)象，磁控濺射、光學(xué)鍍膜、終點(diǎn)測(cè)量、開發(fā)等離子過程的監(jiān)測(cè)和控制優(yōu)化。

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